Система прецизионной химико-механической полировки (CMP)

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Система прецизионной химико-механической полировки (CMP)

Обзор оборудования:

Прецизионная система CMP в основном используется для притирки и утоньшения основных полупроводниковых чипов, таких как кремний, диоксид кремния и чипы фокальной плоскости на основе антимонида индия, а также для химико-механической полировки дна, поверхности и торцевой части.

Весь станок и все его компоненты полностью стойки к коррозии; технологические параметры задаются через интерактивный сенсорный интерфейс.

Размер обрабатываемых образцов:

Размер образца ≤ 152 мм / 6 дюймов

Обрабатываемая толщина — от 50 мкм до 10 мм

Достигаемые технологические показатели:

1. Общее отклонение по толщине (TTV) пластины диаметром φ75 мм составляет не более 2 мкм;

2. Общее отклонение по толщине (TTV) пластины диаметром φ100 мм составляет не более 3 мкм;

3. Общее отклонение по толщине (TTV) пластины диаметром φ150 мм составляет не более 4 мкм.

Типы образцов, которые можно обрабатывать:

Кремний, карбид кремния, алмаз, керамика, нитрид галлия, кварц, антимонид галлия, фосфид индия, арсенид галлия, теллурид цинка-кадмия, теллурид ртути-кадмия, ниобат лития и другие полупроводниковые материалы.

Характеристики оборудования:

1. Реализация функции определения конечной точки для контроля толщины образца.

2. Онлайн-контроль температуры и охлаждение шлифовального и полировального дисков в реальном времени.

3. Многоканальная система подачи.

4. Автоматическая функция промывки шлифовального и полировального дисков.

5. Автоматическая функция восстановления поверхности диска.

6. Зажимное приспособление оснащено цифровым измерителем толщины с точностью измерения 0,1 мкм.

Технические параметры:

Настройка устройства:

Часто задаваемые вопросы

1. О цене:

Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:

Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. О платеже:

После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

4. Доставка:

После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:

После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:

Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

7. Сервисное обслуживание:

Все машины имеют гарантийный срок более одного года. Наши технические инженеры всегда онлайн и готовы предоставить вам услуги по установке, настройке и обслуживанию оборудования. Мы можем предоставить услуги по установке и настройке оборудования на месте для специального и крупногабаритного оборудования.