Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Главная страница
О НАС
MH Equipment
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
Главная> Плазменная установка очистки
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности
  • Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности

Микроволновое плазменное очистительное оборудование / Микроволновое плазменное оборудование для обработки поверхности

Описание продукта

Установка для очистки микроволновой плазмой

Для предварительной обработки перед соединением полупроводниковых чипов, предварительной обработки пластиковой упаковки, удаления fotoresistа, соединения металлов и предварительной обработки.
Это система низковольтной очистки микроволновой плазмой для полупроводников. Применение микроволн с частотой 2,45 ГГц к окну на стенке вакуумной камеры приводит к образованию большого количества непрерывной Плазмы, и чип очищается при входе в камеру.
Преимущества
1. Плазма не имеет заряда и не вызывает повреждения цепей
2. Поддерживайте низкую температуру во время процесса обработки
3. Высокая скорость реакции и короткое время отклика
4. Нет электродов, нет источников загрязнения, долгий срок службы
5. Способен поддерживать плазму при высоком давлении
6. Микроволновые соединения и магнитные цепи совместимы
7. Низкие требования к напряжению самосогласования
8. Высоковольтный источник и генератор изолированы друг от друга для безопасности
9. Сухая травка, нет источника загрязнения
Применение
Предварительная обработка перед склеиванием чипов
Предварительная обработка перед металлической склейкой
Предварительная обработка перед герметизацией пластиком
Активация поверхности пластин

Двойная система питания Microwave + Bias RF:

Микроволны обеспечивают отличную скорость снятия и равномерность (удаление fotoresist), радиочастотная биас-компонента предоставляет направленную кинетическую энергию для движения плазмы, а двойная система питания повышает эффективность и качество очистки и травления полупроводников.
Характеристики
Вакуумный плазменный блок
Размер оборудования
1230X1800X1100мм (ширина x высота x глубина)
Вес
450Кг
Спрос на электроэнергию
AC380V, 50/60Hz, 5-провод, 30A
Характеристики плазменного генератора
Источник питания микроволн
Мощность
0~1250Вт
Частота
2.45ГГц
Вакуумная система
Материал
Алюминиевый сплав (настраиваемая камера из нержавеющей стали)
Толщина
25 мм
Внутренние размеры полости
480ммX470ммX480мм
Рабочие пространства
6 секций журнала
ECR
Журнал с прорезями обеспечивает улучшенный эффект обработки ECR
Способность к плазме
Обрабатывающая способность
шаг 35 мкм
выступ 40 мкм
максимальный размер кристалла 15x15 мм
Упаковка и доставка
Вид на фабрику
Профиль компании
Minder-Hightech является представителем по продажам和服务 в области оборудования для полупроводниковой и электронной продукции. С 2014 года компания стремится предоставить клиентам Превосходные, Надежные и Комплексные Решения для оборудования.
ЧАВО
1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Запрос

Запрос Email WhatsApp WeChat
Top
×

Свяжитесь с нами