MDLB-MC200 Фотомасочный очиститель , China MDLB-MC200 Фотомасочный очиститель Manufacturers, Suppliers, Factory

MDLB-MC200

Очиститель фотомасок

Камера очистки:

Камера очистки обрабатывается антикоррозийными материалами, которые имеют гладкую поверхность и легко моются. На дне внутренней полости имеется порт для отвода отходов, который использует силу тяжести для сброса отработанной жидкости в систему отвода отходов завода. Внутри полости есть всасывающее отверстие, которое может своевременно извлекать воздух из полости. Комплектуется 3 автоматическими поворотными руками, что позволяет выполнять автоматическую очистку.

Таблица конфигурационных параметров:

Нет.	Проект	Характеристики	Примечания
1	Обзор оборудования	Наименование устройства: Чистильщик фотомасок
		Модель оборудования: MDLB-MC200
		Общие размеры (примерно): 1300мм (Ш) * 1000мм (Г) * 1950мм (В)
		Вес всего аппарата (примерно): 300КГ
		Высота рабочей поверхности: 900 ± 50мм
		Размеры субстрата: подходят для квадратных масок размером 2/4/5/6/8 дюймов
		Технологический процесс: ручная установка пластины → очистка (щетка, моющий раствор → высокое давление вода → мегасоник вода → деионизированная вода → сушка азотом) → ручное удаление пластины
		Тип оборудования: полуавтоматический, ручная загрузка и выгрузка
2	Конструкция оборудования	Корпус: нержавеющая сталь, гладкая, устойчивая к коррозии, легко очищается
		Камера очистки: ПП, гладкая, устойчивая к коррозии, легко очищается
		Трубы: используется трубопровод из ПУ/ПФА
		Освещение рабочей зоны: противокоррозийное желтое световое освещение
		Способ открытия двери: двойная дверь с функцией сигнализации при открытии двери
		Сенсорный экран: 10-дюймовый цветной сенсорный экран * 1
		FFU: класс 100
		Противотечная подставка: доступна
3	Сервопривод с высокой точностью	Количество: 1
		Скорость: -3000~3000 об/мин	Холостая нагрузка
		Максимальное ускорение вращения шпинделя: 3000 об/мин	Холостая нагрузка
		Точность скорости: ± 1 об/мин (50 об/мин~3000 об/мин)
		Шаг скорости: 1 об/мин
4	Автоматический маятниковый рычаг	Количество: 3
4	Автоматический маятниковый рычаг	Скорость маятникового рычага: 1~30 °/с
5	Очистительный блок	Очистка маятникового рычага: 1 канал деионизированной воды, 1 канал азота Мегазвуковой рычаг: 1 мегазвуковой, 1 высокое давление воды Щеточный модуль: 1 щетка, 1 вода, 1 моющее средство
		Метод очистки: автоматическая очистка
		Функция всасывания дистиллированной воды: доступна
		Промывка (дистиллированная вода): 1 маршрут
		Метод подачи: Моющее средство: Диафрагменный насос Дистиллированная вода: поступает напрямую от завода
		Напорный бак с детектором уровня жидкости
6	Щеточная очистка	Количество: 1 (с функцией самоочистки)
		Скорость: до 1000 об/мин, регулируемая скорость
		Высота регулируется вручную
7	Поднос для загрузки	Количество: 5
		Материал: ППС+нержавеющая сталь
		Размер: Подходит для квадратных масочных пластин размером 2/4/5/6/8 дюймов
		Способ фиксации субстрата: Кlaw-метод фиксации
8	Система управления	Система управления: Используется управление на базе ПЛК
		Программа: 100 групп, каждая группа состоит из 100 шагов, максимальное время одного шага составляет 3000.0 секунд Точность: 0.1С
		Программа может быть сохранена, вызвана, изменена и удалена
		Установите права шифрования: для операторов устройства, техников, администраторов и производителей соответственно
		Тип сигнальной башни: красный, желтый, зеленый 3 цвета