Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Получить предложение

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Домашняя страница
О нас
Оборудование MH
Решение
Зарубежные Пользователи
Видео
Связаться С Нами
Главная > PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП
  • MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП
  • MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП
  • MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП

MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП

Модель: MDICP-5000F

Получить бесплатное предложение
MDICP-5000F Полностью автоматический аппарат этчинга ИКП
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Краткое содержание:

Оборудование представляет собой двухкамерную вакуумную систему. Одна камера является камерой инъекции и отбора проб, а другая — камерой этчинга. Между камерой инъекции и отбора проб и камерой этчинга установлена вакуумная блокировка, и транспортировка инъекции и отбора проб осуществляется манипулятором.
Оборудование в основном состоит из вакуумной системы, газовой системы, электрической системы, системы управления, охлаждающей системы, механизма подачи и сматывания пленки, системы сигнализации и т.д.

Вакуумная система:

Система состоит из молекулярного насоса с производительностью 600 Л/с + импортного вакуумного сухого насоса с производительностью Л/с для откачки травильной камеры до высокого вакуума. Между молекулярным насосом и травильной камерой установлен электрический регулирующий клапан динамического давления. Импортный сухой насос является предварительным насосом травильной камеры и передним насосом молекулярного насоса. Используется еще один механический насос с производительностью Л/с для откачки образцовой камеры. Для соединения между механическим насосом и вакуумной камерой, а также молекулярным насосом используются нержавеющие резиновые муфты, и установлен электромагнитный пневматический блокирующий клапан.

Система постоянного давления

Оборудование оснащено системой управления постоянным давлением на выходе, а в трубопроводе отвода воздуха установлен электрический регулируемый клапан. Через измерение пленочного манометра (импортные компоненты) управляется регулирующий клапан, чтобы сделать вакуумную камеру с постоянным давлением, что повышает процесс стабильности.

Система постоянного давления

Оборудование оснащено системой управления постоянным давлением на выходе, а в трубопроводе отвода воздуха установлен электрический регулируемый клапан. Через измерение пленочного манометра (импортные компоненты) управляется регулирующий клапан, чтобы сделать вакуумную камеру с постоянным давлением, что повышает процесс стабильности.

Газовая система

Два комплекта ИМП с автоматическим согласованием.

Система оповещения

Требования безопасности к оборудованию.
Характеристики
Name
СПЦ
Бренд
Номер\/Штук
Заметка
Камера травления, трубопровод откачки, окно наблюдения, резервный интерфейс и т.д.
Стандартной
JSWN
1
Противокоррозийный
Стойка, электрический шкаф, уплотнители, стандартные детали и т.д.
Стандартной
JSWN
1
Система подъема крышки камеры травления
Стандартной
JSWN
1
Противокоррозийный
Электрод для травления и система охлаждения
Стандартной
JSWN
1
Противокоррозийный
Молекулярный насос (скорость откачки 600 Л/с)
FF620/150
KYKY
1
Противокоррозийный
Входной сухой насос (скорость откачки 9 Л/с)
XDS-35I
Edwards
1
Противокоррозийный
Механический насос (скорость откачки 9 Л/с)
TRP-36
BWVAC
1
Электрический регулирующий шиберный клапан
DCQ-150
JSWN
1
Противокоррозийный
Пневматический мембранный клапан
KF40
JSWN
3
Противокоррозийный
Пленочный манометр
KF16
INFICON
1
Противокоррозийный
Контроллер массового расхода
D07
Sevenstar
4
Противокоррозийный
Пневматический диафрагменный клапан
1/4″VCR
-
4
Противокоррозийный
Нержавеющая стальная труба, трубная фитинг и т.д.
1/4″VCR
-
4
Противокоррозийный
Источник питания РЧ / автоматический согласующий преобразователь
-
Китай (Необязательно CROWN1310)
1
Источник питания РЧ / автоматический согласующий преобразователь
-
Китай (Необязательно CROWN1310)
1
Составной вакуумметр
ZDF
RB
1
IPC
2u
Китае
1
Сенсорный ЖК-экран
17 дюймов
Китае
1
ПЛК-система управления
S7-200
Сименс
1
Система управления электроприводом
Стандартной
JSWN
1
Система обнаружения охлаждающей воды и трубопровод
Стандартной
JSWN
1
Система обнаружения сжатого воздуха и трубопровод
Стандартной
JSWN
1
Машина для циркуляции охлаждающей воды
Hx
Китае
1
Камера инъекции для травления
Стандартной
JSWN
1
Вакуумный замок
СМК
СМК
1
Система управления манипулятором
СМК
СМК
1

Технический параметр почты

1. Предельный вакуум: камера травления 9.0×10-5Па (внутренняя влажность ≤55%)
Камера инъекции образцов 6.0×10-1Па
2. Материал для травления: материалы III, V группы, Si, SiO2 и т.д.
3. Скорость травления: ~ 1мкм/мин
4. Равномерность травления: ≤±5% (диапазон φ125мм)
6. Размер электрода: φ200мм

Часто задаваемые вопросы

1. О цене:

Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

 

2. О пробе:

Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

 

3. О платеже:

После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

 

4. Доставка:

После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

 

5. Монтаж и настройка:

После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

 

6. О гарантии:

Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

 

7. Сервисное обслуживание:

Все машины имеют гарантийный срок более одного года. Наши технические инженеры всегда онлайн и готовы предоставить вам услуги по установке, настройке и обслуживанию оборудования. Мы можем предоставить услуги по установке и настройке оборудования на месте для специального и крупногабаритного оборудования.

Другие товары

Запрос

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены

Политика конфиденциальности

Запрос Email Whatsapp WeChat
Вверх
×

Свяжитесь с нами