Характеристики оборудования
1. Данное оборудование предназначено для лазерной подрезки высококачественных полупроводниковых пластин.
2. Оснащено лазером, импортируемым из США, обеспечивающим исключительную стабильность в процессе лазерной подрезки.
3. Оснащен антиинтерференционной высокоточной линейной XY-платформой с двигателем и штриховой шкалой, что эффективно снижает влияние помех, вызванных станком, на изделия.
4. Включает CCD-камеру с разрешением 12 мегапикселей для точного позиционирования.
5. Обладает ахроматической технологией формирования изображения и возможностями распознавания изображений для позиционирования.
6. Имеет интерфейсы GPIB и другие внешние интерфейсы для подключения внешних приборов для измерений или корректировки сопротивления.
7. Основание из гранита обеспечивает превосходную устойчивость станка.
Технические параметры
Модель |
MDSG-LT74 |
Длина волны лазера |
1064/355 нм |
Мощность лазера |
6 Вт/4 Вт |
Типичный размер пятна |
25-35мкм |
Метод фокусировки |
Автоматический, управляемый компьютерной программой. |
Метод охлаждения |
Охлаждение воздухом |
Диапазон перемещения лазерного луча |
27 мм × 27 мм |
Разрешение перемещения |
0.76мкм |
Точность повторного позиционирования |
±2,5 мкм |
Режим перемещения |
Линейный двигатель с антиинтерференционной штриховой линейкой |
Диапазон перемещения) |
300 мм × 300 мм |
Точность повторного позиционирования |
±1 мкм |
Метод измерения сопротивления |
четырёхпроводное измерение |
Точность измерения сопротивления |
±0,02 % (среднее сопротивление) |
Диапазон измерения сопротивления |
0.1ом–50 МОм |
Скорость измерения |
4 мкс/измерение |
Коррекция погрешности нулевой и полной шкалы |
Автоматическая коррекция |
Определение зонда |
Программируемая произвольная настройка |
Интерфейс |
GPIB |
Размер оборудования |
1430 × 913 × 1747 мм |
Вес |
617 кг |
Условия эксплуатации (вода, электропитание, газ) |
Влажность: <70 %; Электропитание: переменный ток 220 В, 2,5 кВт; Сжатый воздух: <0,6 МПа, <40 л/мин |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены