Модель: MDST-6100
Сухой плазменный ашер с индуктивно-связанной плазмой (ICP) подходит для таких применений, как удаление остатков (предварительная обработка и удаление загрязнений), удаление полимеров (PI, BCB, PBO) и удаление фоторезиста после ионной имплантации; камера рассчитана на пластины диаметром 8 дюймов (совместима также с пластинами диаметром 4 и 6 дюймов).
ICP Сухой плазменный стриппер фоторезиста
Сухой плазменный ашер с индуктивно-связанной плазмой (ICP) подходит для таких применений, как удаление остатков (предварительная обработка и удаление загрязнений), удаление полимеров (PI, BCB, PBO) и удаление фоторезиста после ионной имплантации; камера рассчитана на пластины диаметром 8 дюймов (совместима также с пластинами диаметром 4 и 6 дюймов).
Внешний вид оборудования подвергается постоянным модернизациям и корректировкам; действительный поставленный продукт является определяющим.
Преимущества:
Высокая степень ионизации и распада плазмы
После плазменной обработки воспроизводимость высокая
Сухое травление, отсутствует источник загрязнения
Контроль давления и температуры с помощью дроссельных клапанов
Способен поддерживать плазму при высоком давлении
Разделение источника высокого напряжения и генератора ионов
Совместимость микроволнового соединения и магнитной цепи
Способен удовлетворять требования заказчиков
Низкая температура в процессе обработки
Быстрая скорость отклика и короткое время отклика
Модель |
MDST6100 |
Источник плазмы |
радиочастота |
мощность |
1000 Вт |
Область применения |
8 дюймов (совместимо с 4 или 6 дюймами) |
Размер коробки |
25 штук |
Общие размеры |
Д1696×Ш2170×В2146 мм |
Управление системой |
ПЛК |
Система бункера для материала |
Автоматическая |
Фактические фотографии оборудования:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
