Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Получить цену

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Главная страница
О НАС
MH Equipment
Решение
Зарубежные пользователи
Видео
СВЯЖИТЕСЬ С НАМИ
Главная> Шлифовальный станок для пластин
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью
  • Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью

Процесс химико-механического полирования CMP с высокой точностью

Получить бесплатную консультацию
Описание продукта

Высокая точность Оборудование для химико-механической полировки (CMP)

Точное оборудование CMP обеспечивает эффективное удаление избыточных материалов с поверхности пластины и глобальную наномасштабную плоскостность благодаря синергетическому эффекту химической коррозии и механического шлифования.
Многофункциональная химическая полировальная машина, специально разработанная для приложений CMP и полировки покрытий, требующих строгой геометрической точности и качества поверхности, может достигать уровня Ra в пределах субнанометра.
Это устройство может выполнять точную полировку на уровне нанометров для отдельных форм, а также полировать тонкие пластины диаметром до 8 дюймов. Кроме того, его можно использовать в нетрадиционных приложениях полировки, таких как полировка жестких субстратов, подготовка поверхности эпитаксиального слоя и улучшение переработки чипов.
Чтобы адаптировать машины серии CDP к различным материалам и процессным требованиям, техники разрабатывают и создают соответствующие шаблоны полировки согласно техническим требованиям пользователя, чтобы точно соответствовать требованиям процесса CMP. На левом изображении показан диапазон одной пластины диаметром 8 дюймов.
Для обеспечения точного измерения и контроля пластин или устройств, полированных на машинах CDP, мы разработали систему EPD, чья программа сканирования графики CDP с индивидуальным дизайном может работать на ноутбуках. Эта программа мониторит и графически отображает процесс полировки, автоматически останавливаясь при достижении конечной точки.
Предотвращение чрезмерной полировки. Сканирование CDP также может служить функцией безопасности. Если обнаруживаются изменения в каких-либо контролируемых параметрах процесса, CDP Scan активирует звуковую тревогу для предотвращения чрезмерной полировки. Примеры включают изменение скорости носителя от его заданного значения. Система EPD заметит эту ситуацию, так как уровень трения между прокладкой и полируемым материалом изменится из-за любых изменений в скорости носителя, что может под危ать успешную планировку пластины/С. В этой точке система EPD активирует звуковую тревогу перед снятием фиксатора с поверхности прокладки, или её можно настроить на автоматическое отключение.
Система ACP может быть более эффективно использована в широком спектре приложений, а диаграмма показывает результаты тестирования процесса CMP для диоксида кремния, меди, нитрида кремния, алюминиевой меди, силикона с германием и вольфрама.
Диаграмма показывает, что после процесса CMP WTWNU может достичь 2,82%.
Применение
Планировка кремниевых пластин
Планировка соединений II-V группы
Планирование оксида
Выравнивание подложки инфракрасного материала
Планирование подложек из сапфира, нитрида галлия и карбида кремния, планирование эпитаксиальной подложки
Утончение пластин SOS и SOI до менее 20 микрон
Иерархический обратный инжиниринг или приложения FA
Характеристики
Источник питания
220в 10А
Размер пластины
4”/100мм
6”/150мм
8”/200мм
12”/300мм
Диаметр рабочего диска
520mm, 780mm
Скорость рабочего диска
0-120 оборотов в минуту
Скорость фиксатора
0-120 оборотов в минуту
Частота качания фиксатора
0-30spm
Давление на обратную сторону пластины
0-150psi
Давление в центральной точке пластины
0-50psi
Время таймера
0-10 ч
Канал подачи
≥2
Скорость подачи
0-150мл/мин
Упаковка и доставка
Профиль компании
Minder-Hightech является представителем по продажам和服务 в области оборудования для полупроводниковой и электронной продукции. С 2014 года компания стремится предоставить клиентам Превосходные, Надежные и Комплексные Решения для оборудования.
ЧАВО
1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана, вам нужно сначала внести предоплату, и завод начнет готовить товар. После того, как
оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы его отправим.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

Больше продуктов

Запрос

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Политика конфиденциальности

Запрос Email WhatsApp WeChat
Top
×

Свяжитесь с нами