Введение в продукт
Станция зондирования серии MDSM-VP-CG может обеспечить тестирование характеристик IV/CV, ВЧ-тестирование, фотоэлектрические испытания, электромагнитные транспортные характеристики и тестирование эффекта Холла для анализа устройств и материалов в условиях сверхвысокого вакуума, а также при высоких и низких температурах.
Установка таких компонентов, как вакуумная камера и экран радиационной защиты, совместно с интегрированными возможностями высокой и низкой температуры, вакуума и другими условиями тестирования позволяет эффективно создавать стабильную испытательную среду для полупроводниковых устройств.
Особенности продукта
1. Поддержка диапазона температур от 4,2 К до 473 К
2. Конструкция антирадиационного экрана для повышения равномерности и точности температуры образца
3. Конструкция теплоотвода зонда для обеспечения точного позиционирования зонда
4. Возможность модернизации для подключения магнитного поля
5. Гибкая и масштабируемая конфигурация тестовых приложений
6. Автоматическое управление потоком хладагента, автоматическое точное управление температурой
Параметры продукта
Модель |
MDSM-VP-CG-O-2 |
MDSM-VP-CG-O-4 |
MDSM-VP-CG-C-2 |
|
Чак |
Размер |
2дюйм |
4 дюйма |
2дюйм |
Метод фиксации образца |
Вакуумная термопроводящая паста/пружинный зажим |
|||
Степень вакуума |
максимальный вакуум 10^-10 торр |
|||
|
Оптический свойства |
Ход микроскопа |
Ось R 360 ° + подвижная ось 100 мм |
||
Усиление |
Масштабирование: 7:1, разрешение 4 мкм (увеличение 216X) или металлографический микроскоп (20X~1000X) |
|||
|
Размеры окно наблюдения |
2дюйм |
4 дюйма |
2дюйм |
|
|
Температура контроль характеристики |
Пиксели CCD |
50Вт (симуляция)/200 Вт (цифровой)/500 Вт (цифровой) |
||
Метод охлаждения |
Жидкий азот/жидкий гелий |
Холодильные компрессоры |
||
Метод управления |
Ручное/автоматическое регулирование потока хладагента с открытым циклом |
Автоматическое управление с замкнутым циклом |
||
Запас хода |
77 К ~ 473 К/4,2 К ~ 473 К |
7,3 К ~ 473 К |
||
Разрешение |
0,001 К |
|||
Стабильность |
4,2 К ±0,2 К при 77 К±0,1 К, 373 К±0,08 К, 473 К±0,1 К |
|||
Спецификация зонда |
Номер датчика |
Количество различных зондов может быть расширено до 6 |
||
Регулировка зонда |
Внешняя регулировка вакуумного сильфона, ручное управление |
|||
Точность точки |
2мкм |
|||
Ток утечки |
1 пА/В @25 ℃,100 фА/В @25℃ |
|||
Тип разъема |
Трехосный/SMA/K/Оптоволоконный интерфейс |
|||
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены