 
  





| Проект    | Содержание  | 
| Тип продукта  | 6", 8", 12" кадровый wafer  | 
| элементы проверки 2D  | Посторонние объекты, остаточный клей, частицы, царапины, трещины, загрязнение, отклонение CP, избыточная площадь и т.д.  Отклонение резкого канала и сколы | 
| Элементы проверки траектории резания  | 6", 8", 12" кассета рамы  | 
| Объектив и Разрешение  | 2x(2.75мкм) / 3.5x(1.57мкм) /  5x(1.1мкм) / 7.5x(0.73мкм) / 10x(0.55мкм) | 
| Прецизионный  | 0.55мкм/пиксель  | 
| Опционально и настраиваемо  | Модуль INK, модуль IR  | 







Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Все права защищены