Травление материала Осаждение Реакция Ионное травление RIE , China Травление материала Осаждение Реакция Ионное травление RIE Manufacturers, Suppliers, Factory

Описание продукта

RIE Станок для реакционного ионного травления

Научные приложения машин для реакционного ионного травления RlE в области производства полупроводников и микронанообработки в основном проявляются в обработке наноразмерных структур, травлении новых материалов, изготовлении сложных устройств и прорывах в междисциплинарных технологиях. Ее основная ценность заключается в достижении высокоточного и селективного удаления материалов за счет согласованного контроля физической бомбардировки и химических реакций. Поддерживает исследование передовых полупроводниковых технологий и инноваций в устройствах.

Характеристики оборудования:

1. Высокая точность и анизотропия: позволяет выполнять травление с отвесными боковыми стенками и точными размерами.
2. Хорошая однородность и воспроизводимость: подходит для массового производства.
3. Широкая применимость материалов: выбирая различные газовые комбинации, можно травить различные материалы (полупроводники, диэлектрики, металлы и т.д.).
4. Высокий коэффициент селективности: позволяет точно травить определенные материалы, не нанося значительного ущерба другим материалам.
5. Очистка: сухой процесс, исключающий проблемы, связанные с очисткой и обработкой отработанных жидкостей при влажном травлении.

Характеристики

Конфигурация системы:

Электрическое отопление	Камера (однокамерная)
Электрическое отопление		Н/Д
Тип нижнего электрода	242мм
Диапазон температуры процесса	-20-100°C
Источник плазмы	600 Вт - 1000 Вт
Размер измерительного прибора процесса давления	100 мторр
Вакуумная система	Молекулярные насосные агрегаты, системы сухих насосов, технологическая камера
Количество травильных камер	Однокамерный
Зажимы	ТИП	Размер/мм	Материал
Зажимы		Н/Д	8、6、4、3、2
Детектор конечной точки	Опция
Индуктивно связанная плазма	Опция

Технические параметры:

Этching материал	Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Скорость травления	>20 нм/мин (материал Si02). Скорости для различных материалов различаются
Распределенное управление	>85°
Способ погрузки	Открытая загрузка
Газопровод, управляемый МFC	Доступно шесть газовых баллонов
Опция охлаждения с тыльной стороны с использованием гелия	Да
Интерфейс человек-машина	Управление сенсорным экраном
Режим работы	Полностью автоматический режим, не полностью автоматический режим
Выбор и настройка автоматических устройств	Вы можете выбрать импортные или отечественные комплектующие

Случаи применения

Упаковка и доставка

Профиль компании

С 2014 года Minder-Hightech является представителем по продажам и обслуживанию в индустрии оборудования для производства полупроводников и электронных продуктов. Мы стремимся предоставлять клиентам превосходные, надежные и комплексные решения для оборудования. На сегодняшний день продукция нашей марки распространилась в ведущих индустриализованных странах мира, помогая клиентам повышать эффективность, снижать затраты и улучшать качество продукции.

Часто задаваемые вопросы

1. О цене:
Все наши цены конкурентоспособны и подлежат переговорам. Цена варьируется в зависимости от конфигурации и сложности кастомизации вашего устройства.

2. О пробе:
Мы можем предоставить услуги производства проб, но вы можете оплатить некоторые сборы.

3. Оплата:
После подтверждения плана вам нужно сначала внести предоплату, а завод начнёт готовить товар. После того как оборудование будет готово, и вы оплатите остаток, мы отправим его.

4. Доставка:
После завершения производства оборудования мы отправим вам видео приёма, и вы также можете приехать на площадку для проверки оборудования.

5. Монтаж и настройка:
После того как оборудование прибудет на ваш завод, мы можем направить инженеров для установки и настройки оборудования. Мы предоставим вам отдельную котировку за эту плату за услугу.

6. О гарантии:
Наше оборудование имеет гарантийный период 12 месяцев. После гарантийного периода, если какие-либо детали повреждены и требуют замены, мы будем взимать только стоимость запчастей.

7. Сервисное обслуживание:
Все машины имеют гарантийный срок более одного года. Наши технические инженеры всегда онлайн и готовы предоставить вам услуги по установке, настройке и обслуживанию оборудования. Мы можем предоставить услуги по установке и настройке оборудования на месте для специального и крупногабаритного оборудования.