MDXN-31D4 Máquina de Litografia de Dupla Face de Alta Precisão , China MDXN-31D4 Máquina de Litografia de Dupla Face de Alta Precisão Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição do Produto

Este equipamento é主要用于para o desenvolvimento e produção de circuitos integrados pequenos e médios, componentes semicondutores e dispositivos de onda acústica de superfície. Devido ao mecanismo avançado de nivelamento e à força de nivelamento baixa, esta máquina não só é adequada para a exposição de vários tipos de substratos, mas também para a exposição de substratos facilmente fragmentados, como arseneto de potássio e aço fosfático, bem como para a exposição de substratos não circulares e pequenos.

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine details

Especificações

Parâmetros técnicos principais

1. Tipo de exposição: tipo de contato, alinhamento de placa, exposição única em duas faces
2. Área de exposição: 110X110mm;
3. Uniformidade de exposição: ≥ 97%;
4. Intensidade de exposição: 0-30mw/cm2 ajustável;
5. Ângulo do feixe UV: ≤ 3 °
6. Comprimento de onda central da luz ultravioleta: 365nm;
7. Vida útil da fonte de luz UV: ≥ 20000 horas;
8. Temperatura da superfície de trabalho: ≤ 30 ℃
9. Utilização de obturador eletrônico;
10. Resolução de exposição: 1 μM (a profundidade de exposição é cerca de 10 vezes a largura da linha)
11. Modo de exposição: Exposição simultânea dos dois lados
12. Intervalo de alinhamento: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Precisão de alinhamento da placa: 2 μm
14. Intervalo de rotação: Ajuste de rotação na direção Q ≤ ± 5 °
15. Sistema microscópico: sistema CCD com duplo campo de visão, objetiva 1.6X~10X, sistema de processamento de imagens por computador, monitor LCD de 19 "; Ampliação total 91-570x
16. Tamanho da máscara: Capaz de absorver máscaras quadradas de 5" por vácuo, sem requisitos especiais para a espessura da máscara (variando de 1 a 3mm).
17. Tamanho do substrato: Adequado para substratos de 4", com espessura do substrato variando de 0,1 a 2mm.
18. Ao fazer o pedido, não há requisitos especiais, e uma prateleira padrão de 5" X5 está incluída; você pode personalizar prateleiras abaixo de 5" X5:

Embalagem e Entrega

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine manufacture

MDXN-31D4 High Precision Double-sided Lithography Machine factory

Perfil da Empresa

Temos 16 anos de experiência em vendas de equipamentos. Podemos fornecer uma solução profissional completa para linhas de embalagem de semicondutores de frente e trás da China.