Alineador\/Máquina de Alineação de Fotolitografia , China Alineador\/Máquina de Alineação de Fotolitografia Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrição dos Produtos

Máquina de Litografia de Alinhador de Máscara

O Alinhador de Máscara é主要用于no desenvolvimento e produção de circuitos integrados de pequeno e médio porte, componentes semicondutores, dispositivos optoeletrônicos, dispositivos de onda acústica de superfície, circuitos finos e dispositivos eletrônicos de potência
Aparelho de Alinhamento de Máscara, também conhecido como: máquina de alinhamento de exposição de máscara, sistema de exposição, sistema de litografia, etc., é o equipamento central para fabricação de chips. Ele utiliza uma tecnologia semelhante à impressão fotográfica para imprimir padrões finos da máscara sobre a wafer de silício por meio de exposição à luz.
Composto principalmente por: mesa de trabalho de alinhamento de alta precisão, microscópio vertical de campo separado binocular, microscópio horizontal de campo separado binocular, câmera digital, sistema de memória de imagem computadorizada, cabeça de exposição de múltiplos pontos de luz (fly eye), sistema de controle PLC, sistema pneumático, sistema de vácuo, bomba de vácuo direta, mesa de trabalho antivibração secundária e caixa de acessórios.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Característica

1. Cabeça de exposição fly-eye com alta uniformidade / mecanismo de nivelamento por flutuação no ar / fixação por vácuo confiável com alta resolução.
2. Método de alinhamento pela máscara que mantém estável e alimenta o substrato, garantindo a consistência da força gravitacional orientadora e da força aplicada.
3. Utiliza guia linear sem lacunas, com alta precisão e velocidade rápida.
4. Todos os modelos são adequados para trabalhar com todos os fotoresistores padrão, como AZ, Shipley, SU 8.
5. Em todos os modelos, a qualidade do padrão transferido pelo sistema para o substrato após 5 aplicações de máscara deve ser a mesma que a qualidade do padrão após a aplicação da primeira máscara.
6. Tempo de exposição ajustável entre 1 segundo e 1 hora. Precisão de alinhamento 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Especificações

Modelo	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Tipo de exposição	Um lado			Alinhamento duplo e exposição dupla
Modo de exposição	Contato duro, macio e aproximação sem contato
Quantidade de cabeça de exposição	1 Cabeça de exposição			2 Cabeças de exposição
Tipo de fonte de luz	Lâmpada esférica de mercúrio GCQ350						Cabeça de exposição UV LED
Método de resfriamento	Resfriamento a ar
Área de exposição	φ100 mm	110×110mm	φ100 mm		150mm×150mm
Modo de exposição	Compatível com contato duro e macio
Irregularidade de exposição	φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Resolução de exposição	2μm	1 μm
Intensidade do feixe (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Inhomogeneidade do feixe	≤±4%	≤ ± 3%
Ângulo máximo de desvio da luz UV	4°	3°
Alcance de iluminação	≤Φ117mm	φ117mm	≤Φ117mm		Frente e verso ≥ Φ115mm
Modo de compensação de erro de wedge	Compensação automática hemisférica			Eliminação automática		compensação automática em 3 pontos
O deslocamento dos eixos X e Y	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
O deslocamento do θ	±3°	≤5°	≤±5º		≤0.5°
Resolução de deslocamento do substrato XYZ	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Sistema de microscópio	Dois microscópios de barril único / Duas câmeras CCD
Tamanho do ecrã	15 polegadas
Resolução do sistema de imagem	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Distância de medição entre a máscara e o substrato	0.5 µm	0.3 µm
Dimensão diagonal da superfície alvo do CCD	1/3, (6mm)						40mm～110mm
Tamanho da mesa de configuração	≤ Quadrado 5x5 polegadas (especificações personalizáveis)
Tamanho dos substratos	φ 100mm ou quadrado de 100x100mm	quadrado de 60x49,5mm	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Espessura do substrato	1 a 3 mm	≤5 mm	1 a 3 mm		≤5 mm
Bomba de Vácuo	Sem óleo silencioso（-0,07～-0,08MPα）
Ar comprimido limpo	≥0,4MPα
Fonte de alimentação	CA 220V±10% 50HZ 1,5KW
Classe de sala limpa	Classe 100
Temperatura da sala limpa	25℃±2℃
Umidade relativa da sala limpa	≤60%
Amplitude de vibração do ambiente limpo	≤4μm
Tamanho do Equipamento	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Peso do equipamento	200KG				280 kg

A fabricação de um sistema de alinhamento de alta precisão precisa ter um processo mecânico quase perfeito. Outro problema técnico do sistema de alinhamento é o microscópio de alinhamento. Para aumentar o campo de visão do microscópio, muitas máquinas de litografia de alta gama utilizam iluminação LED. Existem dois conjuntos de sistemas de alinhamento com função de foco. Ele é composto principalmente por dois olhos e dois campos de visão direcionados para o corpo do microscópio, um par de ocular e um par de lentes objetivas (normalmente, a máquina de litografia fornece ocular e objetivas com diferentes amplificações para os usuários). A função do sistema de alinhamento CCD é ampliar as marcas de alinhamento da máscara e da amostra e exibi-las no monitor.

A mesa de peça de trabalho é uma parte-chave da máquina de litografia, composta pela mesa de movimento geral da amostra de máscara (XY), pela mesa de movimento relativo da amostra de máscara (XY), pela mesa de rotação, pelo mecanismo de nivelamento da amostra, pelo mecanismo de focagem da amostra, pela mesa de wafer, pelo suporte de máscara e pela mesa de máscara extraível. O mecanismo de nivelamento da amostra inclui uma bola com base esférica. No processo de nivelamento, primeiro, ar comprimido é aplicado à base esférica e à esfera, e então a base esférica, a esfera e a peça da amostra se movem para cima através da roda de focagem, de modo que a peça da amostra possa ser nivelada contra a máscara, e então a válvula solenóide de três vias e duas posições alterna a base esférica e a esfera para vácuo, travando-a para manter o estado de nivelamento.

Minder-Hightech traz para você uma tecnologia avançada para fotolitografia por meio da máquina Aligner/Alignment.

Você está enfrentando dificuldades com pouca precisão ao imprimir circuitos em seus produtos eletrônicos? Com o Alinhador/Máquina de Alinhamento da Minder-Hightech, você pode ter tranquilidade sabendo que alcançará um alto nível de precisão na produção dos seus circuitos impressos.

Com este item revolucionário, você pode transferir uma imagem de alta resolução para um produto usando fotolitografia. Esta máquina garante precisão por meio de um sistema operacional que alinha o material à imagem.

Após as imagens serem impressas e carregadas, a máquina calcula a quantidade de exposição necessária e como o material está alinhado com base nas imagens. Este cálculo é feito utilizando o mais recente software de computador, que pode ser atualizado para acompanhar o desenvolvimento tecnológico na indústria de produção.

Isso permitirá que você faça uma ampla gama de produtos, incluindo microcircuitos, circuitos de radiofrequência (RF) e circuitos embutidos. A unidade pode produzir a melhor profundidade de gravura, largura de pista e alinhamento entre camadas através da adição de vários procedimentos complementares, como gravura química e eletrodoação.

A vantagem do nosso produto está em sua capacidade de produzir um alto alinhamento, o que garante que os padrões sejam posicionados com grande precisão no material. Você pode imprimir muitos designs complicados sem qualquer deformidade.

É amigável ao usuário, compacto e eficiente, tornando-o adequado para várias instalações de fabricação ou tamanho de empresa. Além disso, nosso dispositivo vem com manutenção manual e treinamento no local com nossa equipe de suporte técnico.

A Máquina de Alinhamento da Minder-Hightech utiliza tecnologia de fotolitografia para ajudá-lo a alcançar os melhores resultados ao imprimir seus circuitos. Experimente um novo nível de tecnologia que oferece alta precisão e exatidão, algo que não pode ser igualado pelos métodos tradicionais de impressão. A Máquina de Alinhamento da Minder-Hightech é o que sua empresa de manufatura precisa para permanecer à frente da concorrência. Entre em contato conosco hoje para aproveitar os benefícios da melhor tecnologia de Alinhador/Máquina de Alinhamento do mercado.