Precyzyjny system CMP

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Precyzyjny system CMP

Przegląd urządzenia:

Precyzyjny system CMP jest głównie stosowany do szlifowania i cieniowania głównych układów scalonych półprzewodnikowych, takich jak krzem, dwutlenek krzemu oraz układy matrycowe z antymonku indu (InSb), a także do chemicznego szlifu mechanicznego powierzchni dolnej, górnej i czołowej.

Cała maszyna oraz wszystkie jej elementy są w pełni odporno na korozję, a parametry procesu można ustawić za pośrednictwem interaktywnego interfejsu dotykowego.

Maksymalny rozmiar obrabianego próbkowego:

Rozmiar próbki ≤ 152 mm / 6 cali

Grubość materiału możliwa do obróbki: 50 μm – 10 mm

Osiągalne wskaźniki procesu:

1. Całkowite odchylenie grubości (TTV) płytki o średnicy φ75 mm mieści się w granicach ±2 μm;

2. Całkowite odchylenie grubości (TTV) płytki o średnicy φ100 mm mieści się w granicach ±3 μm;

3. Całkowite odchylenie grubości (TTV) płytki o średnicy φ150 mm mieści się w granicach ±4 μm.

Rodzaje próbek, które można przetwarzać:

Krzem, karbid krzemu, diament, ceramika, azotek galu, kwarc, antymonek galu, fosforek indu, arsenuk galu, tellurek cynku i kadmu, tellurek kadmu i rtęci, niobian litu oraz inne materiały półprzewodnikowe.

Cechy wyposażenia:

1. Realizacja funkcji wykrywania punktu końcowego w celu kontrolowania grubości próbki.

2. Funkcja sterowania temperaturą i chłodzenia płyty szlifu i polerowania w czasie rzeczywistym online.

3. Wielokanałowy system dozowania.

4. Funkcja automatycznego płukania płyty szlifu i polerowania.

5. Funkcja automatycznego naprawiania płyty.

6. Uchwyt wyposażony w cyfrowy miernik grubości o dokładności pomiaru wynoszącej 0,1 μm.

Parametry techniczne:

Konfiguracja urządzenia:

Często zadawane pytania

1. O cenie:

Wszystkie nasze ceny są konkurencyjne i negocjowalne. Cena różni się w zależności od konfiguracji i złożoności dostosowywania urządzenia.

2. O próbkach:

Możemy udostępnić usługi produkcji próbek, ale mogą one wiązać się z pewnymi opłatami.

3. O płatności:

Po potwierdzeniu planu musisz wpierw zapłacić nam zaliczkę, a fabryka rozpocznie przygotowanie towarów. Po gotowości urządzenia i po zapłaceniu reszty, wyślemy je.

4. O Dostawie:

Po ukończeniu produkcji sprzętu wyślemy Ci film akceptacyjny, możesz również przyjechać na miejsce, aby sprawdzić urządzenie.

5. Instalacja i Debugowanie:

Po przybyciu equipmentu do twojej fabryki możemy wysłać inżynierów do instalacji i debugowania equipmentu. Dla tej opłaty za usługę dostarczymy osobnego ofertę.

6. O gwarancji:

Nasze equipment ma okres gwarancji 12 miesięcy. Po upływie okresu gwarancyjnego, jeśli którekolwiek części ulegną uszkodzeniu i będą wymagały wymiany, obciążymy tylko kosztem zakupu.

7. Serwis gwarancyjny i pogwarancyjny:

Wszystkie maszyny mają okres gwarancji ponad jeden rok. Nasi inżynierowie techniczni są zawsze online i mogą zapewnić Ci usługi instalacji, uruchamiania oraz konserwacji urządzeń. Dla specjalistycznego i dużego sprzętu możemy zapewnić usługi instalacji i uruchamiania na miejscu.