MCXJ-MLS8 Sistem Litografi Tanpa Topeng , China MCXJ-MLS8 Sistem Litografi Tanpa Topeng Manufacturers, Suppliers, Factory

Penerangan Produk

Sampel:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Gambar struktur peralatan

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Spesifikasi

Gambar struktur hos pendedahan

struktur	menunjukkan
Meja pendedahan	Kawasan pendedahan: meja, kawasan penempatan substrat
Sistem optik	Kawasan pembezaan pancaran laser
Sistem kawalan alam sekeliling	Kawal suhu dalaman dan tekanan positif peranti
Sistem platform	Kawal pergerakan jadual pendedahan untuk menyelesaikan operasi laluan pendedahan
Sistem Kawalan	Sistem kawalan keseluruhan perlengkapan

Perhatian: Kerana peningkatan mesin mungkin mengubah penampilan sebenar, subjek spesifik adalah produk sebenar.

No.	Persekitaran	Memerlukan
1	Sumber cahaya persekitaran	Cahaya kuning
2	Suhu	22℃±2℃
3	Kelembapan	50%±10%
4	Kebersihan	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, udara kering dan bersih
6	Pasukan kuasa	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Dawai tanah mesti disambungkan kepada tanah,
7	Air Penyejuk	Suhu: 10℃~ 20℃ Tekanan: 0.3MPa ~ 0.5MPa Kadar aliran: 20L/minit Beza tekanan: 0.3MPa atau lebih tinggi Ambil ukuran diameter: Rc3/8
8	Tempat	aras: ±3mm/3000mm goncangan: VC-B Bearing: 750kg/㎡
10	Internet	Satu port rangkaian
11	Saiz Mesin	130011002100mm
12	Berat peranti	1500kg

No.	Projek	Spesifikasi.	Catatan
1	Resolusi	0.6um/atau keperluan lain	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Ketebalan substrat	0.2mm～4mm
4	Ketepatan grid tarikh	60nm
5	Penyelarian	±500nm	130mmx130mm
6	Ketepatan jahitan	±200nm	AZ703
7	Saiz paparan maksimum	190X190mm
8	Throughput	≥300mm2/min	≤50mj/cm2;
9	sumber Cahaya	LD 375nm
10	kuasa Penyinaran	6W
11	Kebajikan tenaga	≥95%
12	hidupan cahaya	10000jam

Pembungkusan & Penghantaran

Profil Syarikat

Kami mempunyai 16 tahun pengalaman dalam penjualan peralatan. Kami boleh memberi anda penyelesaian profesional garis pakej Semikonduktor hadapan dan belakang satu henti dari China.