Ფილმიდან ფილმამდე მაუნტის სორტირებული

Ფუნქცია:
Სამუშაო მაგიდა (წრფივი მოდული) |
340 მმ × 340 მმ (მაქსიმალურად 12 დუйმი) |
Გადაწყვეტა |
0.5 მკმ |
Ვეფერის მაგიდა (წრფივი მოდული) |
12" მაქს. |
Გადაწყვეტა |
1μm |
Ბრუნვადი ვეფერის მაგიდა |
არჩევითი |
Wafer-ის მდებარეობის ზუსტება | |
Ლეპეშის კონტაქტის ადგილი |
±25 მკმ |
Მობრუნების სიზუსტე |
±0.5 |
Გადასა |
არჩევითი ბეჭდვის მეთოდი დაკავშირების გამოყენებისთვის |
Კალაპახის წნევა |
40–250 გ |
Ხელის ბრუნვადი მექანიზმი |
180 გრადუსი |
PR სისტემა | |
Მეთოდი |
256 ნივრი |
Გამოვლენა |
ფერწერო / ჩიპების გამოყოფა / დაზიანებული დიე |
Მონიტორი |
17" LCD |
Მონიტორის გარჩევა |
1024*768 |
Ოპტიკური სისტემა |
Კამერა |
Ოპტიკური გამაძლიერებელი (ვეფერი) |
0,7-დან 4,5-ჯერ არჩევანით უფრო დიდი ვერსია |
Ციკლის დრო |
200MS/EA |
Დიეს დაკავშირების ციკლი 250 მილიწამზე ნაკლებია. წარმოების შესაძლებლობა 12 000-ზე მეტია; | |
Ჩატვირთვისა და გამოტვირთვის მოდული |
Ხელით ატვირთვა და გადმოტვირთვა არჩევითი ჟურნალის ატვირთვა და გადმოტვირთვა |
Აღჭურვილობის მოთხოვნები | |
Ვოლტი |
AC220 В, 150 Гц |
Ჰავას წყარო |
მინიმუმ 6BAR |
Ვაკუუმის წყარო |
700 მმ სველი (ვაკუუმური პომპა) |
Ენერგიის მოხმარება |
3000W |
Გაბათი და წონა | |
Წონა |
1000კგ |
Ზომები (სიღრმე × სიგანე × სიმაღლე) |
1700*1400*1700 მმ |
Დაკარგული დიე |
დიახ |
Ვაკუუმის სენსორი |
|
Საავტორო უფლება © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. ყველა უფლება დაცულია