עיצובiết kế IC, גם ידועה בשם תכנון מעגלים משלבים, יש דיוק גבוה בטכנולוגיית תהליך ננו, והגבוה יותר הוא הדיוק, כך שהתהליך הייצור הוא מתקדם יותר. כאשר מספר גדול של טרנזיסטורים משלבים לתוך המעבד, המיקרו-מעבד יכול להשיג פונקציות רבות יותר, מה שמחמיץ ישירות את עלות הייצור של המעבד. אך ככל שהנודות התהליך במעגלי השלב הפכו לקטנות יותר, מדידת מימדים קריטיים גם מواجهת אתגרים עצומים. זה חשוב מאוד למדוד ולанלז מידע גיאומטרי כמו מחזור מבנה ננו, רוחב קו, גובה קו, זווית קיר, ורuggedness.
פתרון:
באמצעות שימוש במדידת אליפסומטריה באמצעות מטריצת מולר, נלקחו 16 קבוצות של מידע על פולאריזציה, ונקבעו פרמטרי אליפסומטריה מדוייקים יותר (PSI: יחס אמפליטודה, △: הבדל פאזה). מאות מודלים אופטיים מבוקרים שימשו לה맞מה, ולאחר מכן נמדדו ונתחקו מידע גיאומטרי כמו מחזור של מבנה ננו, רוחב קו, גובה קו, זווית קיר, וקצף.
הכנת מודל אופטי
מידע על איברי פולאריזציה
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
