1. Tipo di esposizione: tipo a contatto, allineamento delle lastre, esposizione singola su entrambi i lati
2. Area di esposizione: 110X110mm;
3. Uniformità di esposizione: ≥ 97%;
4. Intensità di esposizione: 0-30mw/cm2 regolabile;
5. Angolo del fascio UV: ≤ 3 °
6. Lunghezza d'onda centrale della luce ultravioletta: 365nm;
7. Durata della sorgente di luce UV: ≥ 20000 ore;
8. Temperatura della superficie operativa: ≤ 30 ℃
9. Utilizzo di uno scatto elettronico;
10. Risoluzione di esposizione: 1 μ M (la profondità di esposizione è circa 10 volte la larghezza della linea)
11. Modalità di esposizione: esposizione simultanea su entrambi i lati
12. Intervallo di allineamento: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Precisione di allineamento della piastra: 2 μ m
14. Intervallo di rotazione: regolazione della rotazione in direzione Q ≤ ± 5 °
15. Sistema microscopico: sistema CCD con doppio campo visivo, obiettivo 1.6X~10X, sistema di elaborazione delle immagini al computer, monitor LCD da 19 "; ingrandimento totale 91-570x
16. Dimensioni del maschera: in grado di assorbire per vuoto maschere quadrate da 5 ", senza requisiti speciali per lo spessore del maschera (da 1 a 3 mm).
17. Dimensioni del substrato: adatto per substrati da 4 ", con spessore del substrato compreso tra 0,1 e 2 mm.
18. Al momento dell'ordine, non ci sono requisiti particolari, e uno scaffale standard da 5" X5 è incluso; è possibile personalizzare scaffali inferiori a 5" X5: