MCXJ-MLS8 Sistema di litografia senza maschera , China MCXJ-MLS8 Sistema di litografia senza maschera Manufacturers, Suppliers, Factory

Descrizione del Prodotto

Campione:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Diagramma della struttura dell'attrezzatura

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Specifiche

Diagramma della struttura dell'unità di esposizione

struttura	illustrare
Esponendo il piano di lavoro	Area di esposizione: piano di lavoro, area di posizionamento del substrato
Sistema ottico	Area di emissione laser
Sistema di controllo ambientale	Controlla la temperatura interna e la pressione positiva dell'apparecchio
Sistema piattaforma	Controlla il movimento della tavola di esposizione per completare l'operazione del percorso di esposizione
Sistema di Controllo	Sistema di controllo di tutto l'equipaggiamento

Nota: A causa dell'aggiornamento della macchina, l'aspetto reale potrebbe cambiare; si prega di riferirsi al prodotto effettivo.

- No, no, no.	Ambiente	Richiedono
1	Ambiente sorgente luminosa	Luce gialla
2	Temperatura	22℃±2℃
3	Umidità	50%±10%
4	Pulizia	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, aria secca e pulita
6	Alimentazione	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Il filo terra deve essere connesso a terra,
7	Acqua di raffreddamento	Temp.：10℃~ 20℃ Pressione：0.3MPa ~ 0.5MPa Flusso：20L/min Differenza di pressione：0.3MPa o più Calibro di connessione：Rc3/8
8	Sede	livello：±3mm/3000mm vibrazione：VC-B Rotazione：750kg/㎡
10	Internet	Una porta di rete
11	Dimensione della macchina	130011002100mm
12	Peso del dispositivo	1500kg

- No, no, no.	Progetto	Spec.	Osservazione
1	Risoluzione	0.6um/oppure altra richiesta	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Spessore del substrato	0.2mm～4mm
4	Precisione della griglia data	60nm
5	Overlay	±500nm	130mmx130mm
6	Precisione di accoppiamento	±200nm	AZ703
7	Dimensione di esposizione MAX	190X190mm
8	Debito	≥300mm2/min	≤50mj/cm2;
9	fonte di luce	LD 375nm
10	potenza luminosa	6W
11	Uniformità dell'energia	≥95%
12	durata della luce	10000h

Imballaggio & consegna

Profilo dell'azienda

Abbiamo 16 anni di esperienza nella vendita di attrezzature. Possiamo fornirvi una soluzione professionale One-stop per linee di imballaggio semiconduttore di fronte e retro da parte della Cina.