La prima cosa che facciamo è rivestire la superficie del materiale di base con un materiale reattivo alla luce speciale. Si tratta di un materiale fotosensibile, che ha un ruolo chiave nel processo. Poi utilizziamo una maschera con un certo tipo di disegno sulla sua superficie, e la mettiamo sopra quel strato. La maschera funge da stencil con dei fori che trasmettono la luce solo in determinate posizioni. Successivamente, esponiamo il disegno sulla maschera a una luce UV che non possiamo vedere. Questa luce crea un'immagine sul materiale fotosensibile, simile a come la luce solare può creare un'ombra quando la fai passare attraverso una forma tagliata. L'ultimo passaggio consiste nell'immergere il substrato in un tipo di soluzione nota come sviluppatore. Questo processo elimina la sezione dello strato fotosensibile esposto alla luce e presenta un disegno sul materiale di base.
IN Macchina per il legacciamento a filo una delle parti più grandi che devono essere controllate sono gli errori che si verificano durante i tre passaggi principali e è molto importante ottenere risultati buoni e precisi. Rivestimento a) Il rivestimento prevede il coprire uniformemente il materiale di base con il materiale fotosensibile. Cioè, ogni pezzo del materiale di base deve avere la stessa dose di ingrediente speciale. In altre parole, normalmente utilizziamo macchine per ottenere quella superficie perfettamente dritta e livellata. Durante questo passaggio, verifichiamo la qualità (nessun rilievo o difetti sul lato della superficie)
La soluzione sviluppatrice viene utilizzata per rimuovere la sezione esposta del materiale, creando un pattern durante il passo 3; lo sviluppo. Ma possiamo comunque sbagliare questo passo. Non vogliamo lasciare il materiale nella soluzione troppo a lungo e se la nostra soluzione è troppo forte, distruggerà il pattern che stiamo cercando di creare. Quindi, dobbiamo controllare molto attentamente il tempo e la concentrazione della soluzione sviluppatrice per ottenere buoni risultati.
Il principale vantaggio di Wire bonding machine è la capacità di immaginare componenti estremamente piccoli. Questo ci permette di produrre parti molto piccole e ad alte prestazioni. Il metodo è inoltre molto vantaggioso per la produzione di massa; ci consente di fabbricare molte parti in un breve periodo di tempo. Questo è particolarmente cruciale in settori con una richiesta estremamente alta di parti identiche (come l'industria elettronica).
D'altra parte, ci sono anche alcuni svantaggi. Il costo elevato della fotolitografia con allineatore a maschera, sia in termini di macchinari che di materiali utilizzati, è una delle maggiori sfide legate a questo metodo. Le macchine possono essere estremamente costose e richiedono materie prime di alta qualità, che a loro volta costano molto. Inoltre, non è possibile realizzare caratteristiche inferiori a, ad esempio, 10 nm con questo tipo di metodo. Questo è significativo perché spesso cerchiamo di costruire cose sempre più piccole e potenti. Inoltre, il processo è estremamente sensibile alla contaminazione, quindi deve essere eseguito in un ambiente molto pulito (di solito chiamato cleanroom). Questo requisito può rendere le cose un po' più complesse e costose.
In ambiti che vanno dall'elettronica alla medicina, la fotolitografia con allineatore a maschera è basata su ricerche e sviluppi fondamentali. L'applicazione di SU-8 è assolutamente essenziale nell'industria elettronica per la produzione di dispositivi microelettronici come circuiti integrati, sensori e display. La realizzazione di queste strutture ha richiesto numerosi strumenti speciali progettati per svolgere questo lavoro, con buoni esempi rappresentati dall'allineatore a maschera EVG(R) e dal sistema di bonding wafer EVG(R).
Ad esempio, nella ricerca medica, la fotolitografia viene utilizzata per costruire canali microscopici per l'analisi dei fluidi corporei; questa tecnologia fa parte di ciò che si chiama un laboratorio-su-una-chip. Utilizzando questa tecnologia, i fluidi possono essere analizzati rapidamente e con precisione per fornire maggiori informazioni sulla salute di un paziente. L'uso di un allineatore di maschere nella fotolitografia per la fabbricazione di sistemi micro e nanofluidici è anche possibile. Se corretto, questi sistemi aumenterebbero la precisione delle dosi di farmaci per i pazienti, migliorando l'efficacia e la sicurezza delle terapie.
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