


| uppbygging    | lýsing  | 
| Upplýsingar um uppsprettara  | Upplýsingar um uppsprettara: uppsprettara, staður fyrir setingu af gerðum  | 
| Ljóskeppanakerfi  | Laser útsendun gerðarvölu  | 
| Kerf virkja umhverfis  | Virkjar innri hitastig og jákvæð þrýsting á tólatæki  | 
| Plattaforma kerfi  | Virkjar færslu af skiptiborði til að ljúka við ljósleiðarferli  | 
| Stjórnkerfi  | Virkjarkerfi alls tækisins  | 
| - Nei, ekki.  | Umhverfi  | Krefja  | 
| 1 | Ljóskerfi umhverfis  | Gulur ljós  | 
| 2 | Hitastig  | 22℃±2℃ | 
| 3 | Húðrúm  | 50%±10% | 
| 4 | Reinlæti  | 1000 | 
| 5 | CDA  | 0.6±0.1Mpa, 200LPM, törstugt, reynt loft  | 
| 6 | Virkjunarsupply  | 220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Jörðarás mun verða jörðaður,  | 
| 7 | Kulda vatn  | Hitastig: 10℃~ 20℃  Tryggð: 0.3MPa ~ 0.5MPa Rafsmagn: 20L/min Tryggðargaman: 0.3MPa eða meira Undirfangargerð: Rc3/8 | 
| 8 | Staður  | hæð: ±3mm/3000mm skjálft: VC-B Beaðing: 750kg/㎡  | 
| 10 | Netinu  | Einn netgreinaportur  | 
| 11 | Stærð vélar  | 1300*1100*2100mm  | 
| 12 | Gerðavætt  | 1500 kg  | 
| - Nei, ekki.  | Verkefni    | -Skilgreining.  | Athugasemd    | 
| 1 | Upplausn    | 0.6um/eða önnur kröfur  | AZ703、AZ1350  | 
| 2 | CDU  | ±10%@1um  | |
| 3 | Þykkleiki snúða  | 0.2mm~4mm  | |
| 4 | Dagsgríð nákvæmni  | 60nm  | |
| 5 | Láguhópur  | ±500nm  | 130mmx130mm  | 
| 6 | Tækifærra nákvæmni  | ±200nm  | AZ703  | 
| 7 | Hámarkshljóðargerðarstærð  | 190X190mm  | |
| 8 | Framkvæmdarflokkur  | ≥300mm²/min  | ≤50mj/cm2;  | 
| 9 | ljósgjafi  | LD 375nm  | |
| 10 | ljóðýn  | 6V  | |
| 11 | Orðulækni  | ≥95% | |
| 12 | ljós lífið  | 10000tím  | 


Höfundarréttur © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Allur réttur áskilinn.