1. Tipe paparan: tipe kontak, penyelarasan pelat, paparan satu sisi ganda
2. Area paparan: 110X110mm;
3. Keseragaman paparan: ≥ 97%;
4. Intensitas paparan: 0-30mw/cm2 dapat disesuaikan;
5. Sudut sinar UV: ≤ 3 °
6. Panjang gelombang pusat cahaya ultraviolet: 365nm;
7. Umur sumber cahaya UV: ≥ 20000 jam;
8. Suhu permukaan kerja: ≤ 30 ℃
9. Menggunakan rana elektronik;
10. Resolusi paparan: 1 μ M (kedalaman paparan sekitar 10 kali lebar garis)
11. Mode paparan: Paparan dua sisi secara simultan
12. Rentang penyelarasan: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Ketepatan penyelarasan pelat: 2 μ m
14. Rentang rotasi: Penyesuaian rotasi arah Q ≤ ± 5 °
15. Sistem mikroskop: sistem CCD dengan dua bidang pandang, lensa objektif 1.6X~10X, sistem pengolahan gambar komputer, monitor LCD 19 "; Total pembesaran 91-570x
16. Ukuran masker: Dapat menyerap masker persegi berukuran 5 "dengan vakum, tanpa persyaratan khusus untuk ketebalan masker (berkisar dari 1 hingga 3mm).
17. Ukuran substrat: Cocok untuk substrat berukuran 4 ", dengan ketebalan substrat berkisar dari 0.1 hingga 2mm.
18. Saat pemesanan, tidak ada persyaratan khusus, dan rak ukuran 5" X5 adalah standar; Anda dapat menyesuaikan rak di bawah 5" X5: