Kiemelni
Bevezetés: A magnetronos porlasztó bevonóberendezés egy költséghatékony, cégünk által önállóan fejlesztett magnetronos porlasztó bevonóberendezés, amelynek jellemzői a szabványosítás, modularizáció és testreszabhatóság. A magnetron céltáblák átmérője 1, 2 és 3 hüvelyk, és az ügyfelek a felületkezelendő alapanyag méretének megfelelően választhatnak közülük; a tápegység egy 500 W-os nagyteljesítményű egyenáramú tápegység, amely alkalmas nagyenergiás fém porlasztó bevonásra. A kísérleti igényeknek megfelelően más típusú egyenáramú vagy rádiófrekvenciás (RF) tápegységek is kiválaszthatók a különféle anyagok bevonásának végrehajtásához.
Alkalmazás: Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezető rétegek, ötvözet-rétegek, félfém rétegek, kerámia rétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.