Asztali Gyors Hőfeldolgozás / RTP RENDSZER

RTP eszközöket összetett haloványvezetékekhez 、SlC、LED és MEMS

Ipari alkalmazások

Vastagságtartalom, nitrid növekedés

Ohmic kapcsolat gyors ötvöztetés

Silicid ötvözettel történő melegítés

Oxidációs visszatérés

Gallium arsenid folyamat

Egyéb gyors melegítési folyamatok

Jellemző：

Infravörös halogén lámpa csőmelegítés, hűtés levegőhűtéssel;

PlD hőmérséklet-ellenőrzés a lámpa teljesítményére, amely pontosan ellenőrzi a hőemelkedést, biztosítva a jó reprodukálhatóságot és a hőegységességet;

A anyag belépését a WAFER felületén állítjuk be, hogy elkerüljük a hidegpontok kialakulását a növényesítési folyamat során, és biztosítjuk a termék jótéves hőegységességét;

Mindkét légkörbeli és vakuumos kezelési módszer kiválasztható, az ellentest előkészítésével és tisztításával;

Két folyamatgáz-szett szabványos, és bővíthető legfeljebb 6 folyamatgáz-szettre;

A mérhető egyetlen kristályos síkfűrész maximális mérete 12inches(300x300MM);

A három biztonsági intézkedés: biztonságos hőmérséklet nyitási védelem, hőmérséklet-ellenőrzés nyitási engedélyezési védelem és berendezési sürgősség védelmi funkció teljes körűen végrehajtott, hogy biztosítsa az eszköz biztonságát;

Tesztjelentés:

20. fokú görbék egyeztetése:

850 ℃-nál történő hővezérlés 20 görbéje

20 átlagos hőmérsékleti görbék egybeesése

1250 ℃ hővezérlés

RTP hővezérlési folyamat 1000 ℃-nál

960 ℃ folyamat, infrav pirométerrel vezérelve

LED folyamatadatok

Az RTD Wafer egy hőérzékelő, amely speciális feldolgozási technikákat használ annak érdekében, hogy hőérzékelőket (RTD-kat) bizonyos helyeken helyezzen el egy csigaterű felületén, lehetővé téve a csigaterű felszínének valós idejű hőmérséklet-méréseit.

A csigaterű adott helyeinek valósgyakorlati hőmérséklet-értelmezése és a csigaterű teljes hőeloszlása az RTD Wafer segítségével szerezhetőek be; Emellett használható folyamatos figyelésre a csigaterűk átmeneti hőváltozásainak meghatározására a melegítési folyamat során.