EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
Bevezetés: A két célpontos mágneses porlasztó bevonóberendezés egy laboratóriumi célú, két célpontot tartalmazó bevonóberendezés, amelyet cégünk fejlesztett ki. A berendezés rendelkezik egyenáramú és rádiófrekvenciás tápegységgel. A szokásos plazmaporlasztáshoz képest a mágneses porlasztás előnyei közé tartozik a magas energia- és sebességképesség, valamint a nagy bevonási sebesség; ez egy tipikus gyors, alacsony hőmérsékletű porlasztási eljárás. A mágneses céltárcsát vízhűtött köztes réteggel látták el. A vízhűtő hatékonyan elvezeti a hőt, és megakadályozza a hő felhalmozódását a céltárcsa felületén, így a mágneses bevonás hosszú ideig stabilan működhet. Ennek a modellnek a mintatartó állványa ingadozó (reciprokáló) kialakítású, a bal oldalán mágneses csatolású tolórúddal, amely a mintatartó állványt balra és jobbra is tolhatja. A teljes berendezést érintőképernyőről lehet vezérelni, amelyen belül egy gombnyomással indítható bevonási program található, így a kezelése egyszerű és könnyű. Ez az eszköz ideális a laboratóriumi vékonyrétegek előállításához.
Alkalmazás: Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezető rétegek, ötvözet-rétegek, félfém rétegek, kerámia rétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.
