Bevezetés:
Ez a berendezés egy két célpontos magnetron bevonó készülék. Két magnetron célponttal és két darab egyenáramú tápegységgel van felszerelve. Többrétegű vezető fémrétegek felvitelére használható. Ugyanakkor a berendezés két részből áll: a fő kamrából és az átmeneti kamrából. Az átmeneti kamrában mágneses tolórúd található, és a két kamra között vákuumkapu-szelep van telepítve. A felhasználó az átmeneti kamrában tudja betölteni a mintákat, és előzetesen vákuumozhatja őket, miközben a fő kamrában porlasztás zajlik. Miután befejeződött a fő kamrában zajló porlasztás, a mintát a mágneses tolórúd segítségével a fő kamra mintatartójába lehet tolni. Ez a tervezés csökkenti a fő kamra szükséges vákuumozási és levegőztetési ciklusainak számát, amely nemcsak hatékonyan megtakarít időt, hanem biztosítja a jobb helyi vákuumot is, és így hatékonyan javítja a bevonat minőségét.
Alkalmazás:
Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyfilmek, vezető rétegek, ötvözet-filmek, féligvezető-filmek, kerámiarétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.