Kiemelni
Bevezetés: Ez a berendezés egy két célpontos magnetron bevonó készülék. Két magnetron célponttal és két darab egyenáramú tápegységgel van felszerelve. Többrétegű vezető fémrétegek felvitelére használható. Egyidejűleg a berendezés két részből áll: a fő kamrából és az átmeneti kamrából. Az átmeneti kamrában mágneses tolórúd található, és a két kamra között vákuumcsukó szelep van beépítve. A felhasználó az átmeneti kamrában tudja elhelyezni a mintákat, és előzetesen vákuumozhatja őket, miközben a fő kamrában porlasztás zajlik. Miután a fő kamrában befejeződött a porlasztás, a mintát a mágneses tolórúd segítségével a fő kamra mintatartójába lehet tolni. Ez a megoldás csökkenti a fő kamra szükséges vákuumozási és levegőztetési ciklusainak számát, amely nemcsak hatékonyan megtakarít időt, hanem jobb helyi vákuumot is biztosít, és így hatékonyan javítja a bevonat minőségét.
Alkalmazás: Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezető rétegek, ötvözet-rétegek, félfém rétegek, kerámia rétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.