Kiemelni
Bevezetés:
A kettős célpontos mágneses porlasztó bevonóberendezés egy laboratóriumi célú, cégünk által fejlesztett bevonóberendezés. A berendezéshez egyenáramú és rádiófrekvenciás tápegység is csatlakoztatható, a teljesítmény 500 W-tól 1000 W-ig terjed. A szokásos plazmaporlasztáshoz képest a mágneses porlasztás előnyei közé tartozik a magas energiaszint és sebesség, a nagy bevonási sebesség, valamint az alacsony mintahőmérséklet-emelkedés. Ez egy tipikus gyors és alacsony hőmérsékletű porlasztási eljárás. A mágneses célpont vízhűtéses köztes réteggel van felszerelve. A vízhűtő hatékonyan elvezeti a hőt, és megakadályozza a hő felhalmozódását a célpont felületén, így a mágneses bevonás hosszú ideig stabilan működhet. A berendezést kompaktan tervezték, hogy egyensúlyt teremtsenek a méret és a teljesítmény között, szép megjelenéssel és kifinomult funkciókkal. A teljes gépet érintőképernyőről lehet vezérelni, amelyen belül egy gombnyomással indítható bevonási program is elérhető, így a kezelése egyszerű és könnyű. Ez az ideális berendezés vékonyrétegek laboratóriumi előállításához.
Alkalmazás: Egy- vagy többrétegű ferroelektromos vékonyrétegek, vezető rétegek, ötvözet-rétegek, félfém rétegek, kerámia rétegek, dielektrikus rétegek, optikai rétegek stb. előállítására használható.