Bevezetés:
A berendezést miniaturizálták, megtartva a nagy vákuumú rozsdamentes acél üreget, miközben leegyszerűsítették a többi mechanizmust, így a berendezés kizárólag asztali szintre korlátozódik, és jelentősen csökkennek az elhelyezési követelmények. A berendezés egyenáramú (DC) és rádiófrekvenciás (RF) tápegységgel van felszerelve. A DC céltárgy fémek és egyéb vezető anyagok szórására használható, míg az RF tápegység különféle nemfémek és fémozidok szórására alkalmas. A berendezés vákuumrendszere teljesen importált vákuumszivattyút használ, amely gyors szívási sebességgel, magas végvákuummal és kiváló vákuumteljesítménnyel rendelkezik. Ennek a berendezésnek kompakt szerkezete, teljes funkcionalitása és könnyű kezelhetősége van, ezért kiválóan alkalmas különféle bevonatvizsgálatokhoz.
Alkalmazás:
Fém vékonyrétegek, elektronikai mezők, optikai mezők, speciális kerámiák stb. előállítására használható. Laboratóriumi SEM-minták előkészítésére is alkalmazható.