Bevezetés:
Ez a berendezés egy két célpontos magnetron bevonó készülék. Ez a konfigurációs készlet magas vákuumú, rozsdamentes acélból készült kamrát, elől nyíló tervezést és egy kvarc megfigyelőablakot tartalmaz az ajtón, hogy megkönnyítse a kísérlet megfigyelését és rögzítését. Ugyanakkor a berendezés forgó fűtő mintatartóval van felszerelve, amely hatékonyan javítja a réteg egyenletességét és minőségét. A felső burkolaton egy baffle-készlet van felszerelve, és a két célpontot a baffle-ek elforgatásával lehet váltani, így törétegű bevonat készíthető. Ehhez a berendezéshez magas vákuumú molekuláris szivattyú-csoport szükséges. A felhasználók választhatnak importált márkájú kis méretű molekuláris szivattyúkat, hogy tovább csökkentsék a telepítési hely igényét. Ezenkívül ezt a modellt opcionálisan kiegészíthetjük egy rétegvastagság-mérő komponenssel, amely valós időben figyeli a rétegvastagsági adatokat, és megbízható paramétereket biztosít a kísérleti folyamathoz.
Alkalmazás:
Használható fém vékonyrétegek, elektronikai alkalmazások, optikai alkalmazások, speciális kerámiák stb. előállítására. Laboratóriumi SEM-minták előkészítésére is alkalmas.