





|
PLASMA forrás
|
RF+BIAS
|
||
|
Teljesítmény
|
1000W
|
1000W
|
|
|
600 W
|
600 W
|
||
|
Alkalmazási kör
|
4-8 inches
|
||
|
Egyetlen feldolgozási szelet száma
|
egy
|
||
|
Kijelentkezési méretek
|
1140mm x 1050mm x 1620mm
|
||
|
Rendszervezérlés
|
Ipari vezérlőrendszer
|
||
|
Automatizációs szint
|
Kézi
|
||








Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved