Pontos CMP rendszer

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Pontos CMP rendszer

A berendezés áttekintése:

A pontos CMP rendszer főként szilícium-, szilícium-dioxid- és indium-antimonid fókusztáblás félvezető chipek csiszolására és vékonyítására, valamint az alapfelület, a felszín és a végfelület kémiai-mechanikai polírozására használatos.

A gép teljes egésze és minden alkatrésze teljesen korrózióálló, és a folyamatparamétereket érintőképernyős interaktív felületen keresztül lehet beállítani.

Feldolgozható mintaméret:

Mintaméret ≤ 152 mm / 6 hüvelyk

Feldolgozható vastagság: 50 μm – 10 mm

Elérhető folyamatjellemzők:

1. A φ75 mm-es wafer teljes vastagságeltérése (TTV) 2 μm-en belül van;

2. A φ100 mm-es wafer teljes vastagságeltérése (TTV) 3 μm-en belül van;

3. A φ150 mm-es wafer teljes vastagságeltérése (TTV) 4 μm-en belül van.

Feldolgozható mintatípusok:

Szilícium, szilícium-karbidd, gyémánt, kerámiák, gallium-nitrid, kvarc, gallium-antimonid, indium-foszfid, gallium-arszenid, kadmium-cink-tellurid, higany-kadmium-tellurid, litium-niobát és egyéb félfém anyagok.

A berendezés jellemzői:

1. A mintavastagság szabályozásához szükséges végpont-detektálási funkció megvalósítása.

2. Online, valós idejű csiszoló- és polírozólemez-hőmérséklet-szabályozási és hűtési funkció.

3. Többcsatornás adagolórendszer.

4. A csiszoló- és polírozólemez automatikus öblítési funkciója.

5. Az alaplap automatikus javítási funkciója.

6. A rögzítőberendezés digitális vastagságmérő asztallal van felszerelve, amelynek mérési pontossága 0,1 μm.

A műszaki paraméterek:

Eszköz konfigurációja:

GYIK

1. Árkapcsolatos:

Az összes árunk versenyképes és tárgyalható. Az ár változhat a berendezés konfigurációja és testreszabás bonyolultságától függően.

2. Minta kapcsolatos:

Mintatermelt gyártási szolgáltatásokat tudunk biztosítani Önnek, de esetleges díjat kell fizetnie.

3. A Fizetésről:

A terv megerősítése után először egy kezdeti tételt kell fizetnie nekünk, és a gyár elkezd előkészíteni a termékeket. A berendezés készenlété után, miután kiigazítottuk a maradékot, elküldjük azt.

4. A kézbesítésről:

Az eszközgyártás befejezése után küldünk neked a fogadási videót, és szintén meg is juthatsz a helyszínre az eszköz ellenőrzéséhez.

5. Telepítés és hibakeresés:

Az eszköz érkezését követően üzemmérnökeket küldhetünk az eszköz telepítéséhez és hibakereséséhez. Ezen szolgáltatásért külön ajánlatot fogunk tenni.

6. A garanciáról:

Az eszközünknek van 12 hónapos garanciái. A garancia lejárata után, ha bármelyik rész meghibásodik és cserére van szükség, csak anyagárakat számítunk fel.

7. Ügyfélszolgálat:

Minden gép esetében a garancia legalább egy éves. Műszaki mérnökeink mindig elérhetők, hogy segítségükre legyenek a berendezések telepítésében, beállításában és karbantartásában. Különleges és nagyméretű berendezésekhez helyszíni telepítési és beállítási szolgáltatást is biztosítunk.