


| ساختار  | تصویربرداری  | 
| نمایش میز  | منطقه نورپردازی: میز، منطقه قرار گرفتن زیردر  | 
| سیستم نوری  | منطقه گسترش پرتو ليزر  | 
| سیستم کنترل محیط  | کنترل دما و فشار مثبت داخل دستگاه  | 
| سیستم پلتفرم  | کنترل جنبش جدول نورانی برای انجام عملیات مسیر نورانی  | 
| سیستم کنترل    | سیستم کنترل تجهیزات کلی  | 
| نه  | محیط  | نیاز دارد  | 
| 1 | محیط منبع نور  | نور زرد  | 
| 2 | دمای  | 22℃±2℃ | 
| 3 | رطوبت  | 50%±10% | 
| 4 | پاکیزگی  | 1000 | 
| 5 | CDA  | 0.6±0.1 مگاپاسکال، 200 لیتر در دقیقه، هوا خشک و تمیز  | 
| 6 | منبع تغذیه  | 220~240 ولت، 50/60 هرتز، 2.5 کیلووات؛ سیم زمین باید به زمین متصل شود،  | 
| 7 | آب سردکننده  | دمای: 10 درجه سانتیگراد تا 20 درجه سانتیگراد  فشار: 0.3 مگاپاسکال تا 0.5 مگاپاسکال نرخ جریان: 20 لیتر در دقیقه تفاوت فشار: بیش از 0.3 مگاپاسکال قطر گیرنده: Rc3/8 | 
| 8 | مکان برگزاری  | سطح: ±3 میلیمتر/3000 میلیمتر نوسان: VC-B دسته: 750 کیلوگرم/متر مربع  | 
| 10 | اینترنت  | یک پورت شبکه  | 
| 11 | اندازه ماشین  | 1300*1100*2100mm  | 
| 12 | وزن دستگاه  | ۱۵۰۰کیلوگرم    | 
| نه  | پروژه    | مشخصات  | توضیحات    | 
| 1 | وضوح    | 0.6um/یا نیاز دیگر  | AZ703、AZ1350  | 
| 2 | CDU  | ±10%@1um  | |
| 3 | ضخامت زیربنا  | 0.2mm~4mm  | |
| 4 | دقت شبکه تاریخ  | 60nm  | |
| 5 | پوشاندن  | ±500nm  | 130mmx130mm  | 
| 6 | دقت خیاطی  | ±200nm  | AZ703  | 
| 7 | بزرگترین اندازه نوردهی  | 190X190mm  | |
| 8 | حجم عبور  | ≥300mm2/min  | ≤50mj/cm2؛  | 
| 9 | منبع نور  | LD 375nm  | |
| 10 | توان نور  | 6W  | |
| 11 | یکنواختی انرژی  | ≥95% | |
| 12 | مدت زندگی نور  | 10000 ساعت  | 


کپیرایت © شرکت گوانگژو مندر-هایتک، محدود. همه حقوق محفوظ است