 
  

| Nombre  | Limpia plasma en vacío  | 
| Modelo  | MD-10L-RF  | 
| Sistema de Control    | PLC+ pantalla táctil  | 
| Frecuencia  | 13,56 MHz  | 
| Voltaje    | AC 220V (±10V) monofásico  | 
| Poder    | 100-300 W (Ajustable)  | 
| Control de flujo de gas  | control de flujo de flotador de 2 vías  | 
| Método de Control  | Métodos automáticos y manuales  | 
| Tamaño de la cavidad (L*W*H) mm  | 250×200×200 | 
| Material de la cavidad  | acero Inoxidable 316 / Aleación de Aluminio  | 
| Especificaciones de Carga (L*W) mm  | 175×185 (Un total de tres bandejas)  | 
| Tamaño del Equipo (L*W*H) mm  | 600×560×520 | 
| Volumen de cavidad  | 10 litros  | 
| Grado de vacío  | 30- 100 Pa  | 
| Gas Select  | Ar, N2, O2, Aire, H2+N2 (Composición Mixta)  | 

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