Introducción:
El instrumento de recubrimiento por pulverización catódica con magnetrón es un equipo de recubrimiento por pulverización catódica rentable, desarrollado de forma independiente por nuestra empresa, que presenta las características de normalización, modularización y personalización. Los blancos de magnetrón están disponibles en tamaños de 1, 2 y 3 pulgadas, y los clientes pueden seleccionarlos según el tamaño del sustrato a recubrir; la fuente de alimentación es una fuente de corriente continua (CC) de alta potencia de 500 W, apta para recubrimientos metálicos mediante pulverización catódica de alta energía. Según los requisitos experimentales, también se pueden seleccionar otras especificaciones de fuentes de alimentación de CC o de radiofrecuencia (RF) para realizar operaciones de recubrimiento con diversos materiales.
Aplicación:
Puede utilizarse para preparar películas delgadas ferroeléctricas monocapa o multicapa, películas conductoras, películas de aleación, películas semiconductoras, películas cerámicas, películas dieléctricas, películas ópticas, etc.