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Instrumento de recubrimiento por magnetrón planetario de un solo objetivo
Introducción: Este equipo es un instrumento de recubrimiento por magnetrón planetario de escritorio con un único objetivo. La mitad inferior de la cámara tiene una estructura de acero inoxidable, y la parte superior está fabricada en cuarzo de alta pureza. Se ha tenido en cuenta tanto el rendimiento en vacío como la función de alojar etapas de muestras complejas. El diseño del equipo es de tipo de escritorio, lo que reduce considerablemente los requisitos del espacio de instalación. El equipo incorpora una fuente de alimentación de corriente continua (CC) y puede utilizarse para la pulverización catódica (sputtering) de metales y otros materiales conductores. El sistema de vacío del equipo emplea un grupo de bombas de turbomolecular, lo que proporciona una velocidad de bombeo rápida, un alto grado de vacío final y un excelente rendimiento en vacío. Este equipo presenta una estructura compacta, funciones completas y facilidad de uso. Es muy adecuado para diversas pruebas de recubrimiento.
