Unidad principal de plasma de vacío (150) |
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Tamaño del equipo |
L 1100×A 940×H 1755mm |
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peso |
600kg |
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Suministro de energía a demanda |
AC380V, 50/60Hz, 5 hilos, 25A (tipo abierto total por encima de C) |
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Especificación del generador de plasma |
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poder |
frecuencia de radio |
frecuencia intermedia |
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0~1000W |
0-2000w |
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frecuencia de suministro |
13,56 MHz |
40 K Hz |
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Sistema de vacío |
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bomba de vacío |
Bomba monopolar Leap VSV 65 + Bomba de aceite Bowse BSJ 70 |
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línea de vacío |
Toda la línea de acero inoxidable, así como mangas de vacío de alta resistencia |
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calidad del Material |
alufer |
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grosor |
25mm |
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hermeticidad |
Sellado por soldadura de grado militar |
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Dimensiones internas de la cavidad |
500*500*600mm (Ancho * alto * profundidad) |
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Tamaño efectivo de la placa eléctrica |
372(W) X 451(D)mm |
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Espaciado de espacio disponible |
24mm |
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Disposición de electroplacado |
Placa electroda horizontal |
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bandejas |
Conjunto estándar, material opcional (aluminio, malla de alambre de acero) |
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espacio de trabajo |
8 capas |
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Gas de proceso |
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Rango de flujo |
0~300SCCM |
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Ruta del gas de proceso |
Estándar con dos vías, se puede personalizar. La tubería de gas de proceso está hecha de ferrofllon |
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Sistema de Control |
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SC |
Control por PC |
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modo interactivo |
Interfaz de Windows |
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