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Máquina de Fotolitografía de Alineador de Máscara

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Descripción de los productos

Máquina de Fotolitografía de Alineador de Máscara

Alineador de Máscaras También conocido como: máquina de alineación y exposición de máscaras, sistema de exposición, sistema de litografía, etc., es el equipo central para la fabricación de chips. Utiliza una tecnología similar a la impresión fotográfica para imprimir patrones finos de la máscara sobre la wafer de silicio mediante exposición a la luz.
Características
—— Alta uniformidad cabeza de exposición fly-eye / mecanismo de nivelación por flotación en aire / confiable sujeción por vacío para la exposición.
——Las características anteriores aseguran una alta resolución y una alta uniformidad.
——El método de alineación mediante máscara mantiene la estabilidad y el avance del sustrato, lo que asegura la consistencia de la gravedad de la guía y la fuerza.
——Se utiliza una guía recta sin huecos, con alta precisión y alta velocidad.

La fabricación de un sistema de alineación de alta precisión requiere tener prácticamente un proceso mecánico de precisión perfecta. Otro problema técnico del sistema de alineación es el microscopio de alineación. Para mejorar el campo de visión del microscopio, muchas máquinas de litografía de gama alta utilizan iluminación LED. Hay dos sistemas de alineación con función de enfoque. Está principalmente compuesto por dos ojos y dos campos de visión dirigidos hacia el cuerpo principal del microscopio, un par de ocular y un par de objetivos (la máquina de litografía suele proporcionar ocular y objetivos con diferentes aumentos para los usuarios).
la función del sistema de alineación CCD es ampliar las marcas de alineación de la máscara y la muestra e imágenlas en el monitor.
Especificación
Fabricante
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Minder-Hightech
Modelo
MD-G25A
MD-G25D
MD-G31
MD-G33
Cabeza de exposición NO.
1 Cabeza de exposición
1 Cabeza de exposición
2 Cabezas de exposición
2 Cabezas de exposición
Tipo de fuente de luz
Fuente de lámpara de mercurio
Fuente de luz ultravioleta
Fuente de lámpara de mercurio
Fuente de luz ultravioleta
Área de exposición
≤∅100mm
frente de la línea de banda
≤∅120mm
≥∅115mm
Modo de exposición
Exposición al contacto
tecnología de paralelismo de micro-fuerza
tecnología de paralelismo de micro-fuerza
tecnología de paralelismo de micro-fuerza
Irregularidad de exposición
∅100mm<±4%
≤ ± 3%
∅100mm≤±6%
≤±3% Intensidad de exposición ≥20mw/cm2 (365nm,
404nm, 435nm UV combinado
Espesor del sustrato
1-5mm
≤5 mm
0.1-1mm
≤5 mm
Resolución de exposición
3μm
1 μm
5 μm
1 μm
Rango de iluminación
∅115mm
∅120mm
∅120mm
∅130mm
Sistema de Cámara
Sistema de separación de binoculares
sistema CCD dual
sistema CCD dual
sistema CCD dual
Sistema de microscopio
zoom continuo 50-375
zoom continuo de 91x ~ 570X (lente objetivo 1.6x ~ 10x zoom continuo), el rango ajustable de la distancia entre los dos lentes objetivos es
50mm ~ 120mm
0.7-4.5 zoom continuo
60x, 120x zoom continuo
(magnificación objetiva 2x, 4x dos), distancia ajustable doble objetivo 25mm-70mm
Perfil de la empresa
Minder-Hightech es el representante de ventas y servicio en el equipo de la industria de productos semiconductores y electrónicos. Desde 2014, la empresa está comprometida con proporcionar a los clientes Soluciones Superiores, Confiables y Todo en Uno para equipos de maquinaria.
Preguntas frecuentes
1. Acerca del Precio:
Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:
Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Acerca del Pago:
Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:
Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:
Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:
Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

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