 
  
| Modelo  | MDTS-WT2200  | 
| Número de ejes de delgados  |  2 | 
| Número de bancos de trabajo  | 3, Método de índice  | 
| Eje del husillo de la rueda de rectificado  | Número de husillos de aire: 2  Motor de husillo: motor de frecuencia variable de 7.5kW Velocidad: 0~6000rpm, ajustable sin escalas Especificación de la rueda de grinding: Φ203mm Tipo de rueda de grinding: rueda de grinding de diamante | 
| Sistema de alimentación de la rueda de grinding  | Cantidad: 2 conjuntos  Método de control del sistema de alimentación: riel LM y tornillo sin fin combinación Motor de tracción: motor de servomecanismo Velocidad mínima de avance: 0,1 μm/seg Velocidad máxima de avance: 50 mm/seg | 
| BANCO DE TRABAJO    | Cantidad: 3, modo de índice  Motor del husillo: motor de servomecanismo Velocidad: 0~300 rpm, ajustable sin escalones Método de sujeción: sujeción por vacío | 
| Mesita giratoria  | Modo de tracción: motor de servomecanismo  Rango de rotación: 0~240° Forma de posicionamiento: posicionamiento asistido por sensor | 
| Espesor automático  sistema de medición | Método de medición: medición en línea en tiempo real con contacto IPG  Número de cabezales de medición: 2 Sensor de medición: sensor de nivel 0.1um | 
| Carga automática\/  sistema de descarga | Tipo de caja: Cassette de 6-8 pulgadas, 25 capas  Método de carga/descarga automática: se utiliza manipulador de wafer para garantizar que los wafer finos sean transportados sin daño Espesor del wafer: 150um-1000um | 
| Función de limpieza del banco de trabajo  | Método de limpieza: Pulido con piedra de aceite y enjuague de dos fluidos con agua DI + aire  | 
| Limpieza automática/  sistema de secado | Limpieza: Limpieza con boquilla de agua DIW  Método de secado: Soplado + secado Velocidad: ajustable sin etapas hasta 1000rpm | 
| Sistema de eliminación estática  | Barra iónica o ventilador orión  | 
| Enfriador de husillo  | Temperatura: 18-22°C  Caudal: 4~8L/min | 
| Sistema de Control    | Sistema de control: sistema de control PC, pantalla táctil con luz de alarma de 3 colores  Interfaz hombre-máquina en chino/inglés | 
| Tamaño máximo de wafer  | Compatible máximo con 8 pulgadas  | 
| Rango de velocidad    | 0~6000 RPM  | 
| Recorrido del eje Z  | 160mm  | 
| Velocidad de alimentación del eje Z  | 0.1~100um/seg  | 
| Velocidad de retracción rápida del eje Z  | 50mm/seg  | 
| Resolución del eje Z  | 0.1um  | 
| Rango de medición de grosor en línea  | 0~1800um  | 
| Resolución de medición de grosor en línea  | 0.1um  | 


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