Sistema de CMP de precisión

MDAM-CMP100 / MDAM-CMP150

Sistema de CMP de precisión

Resumen del equipo:

El sistema de pulido químico-mecánico (CMP) de precisión se utiliza principalmente para el desbaste y adelgazamiento de obleas semiconductoras principales, como las de silicio, dióxido de silicio y antimonuro de indio para matrices de plano focal, así como para el pulido químico-mecánico de la cara inferior, la superficie y el borde.

Toda la máquina y todas las piezas del equipo son totalmente resistentes a la corrosión, y los parámetros del proceso se configuran mediante una interfaz interactiva táctil.

Tamaño de muestra procesable:

Tamaño de muestra ≤ 152 mm / 6 pulgadas

Espesor procesable: 50 μm ~ 10 mm

Indicadores de proceso alcanzables:

1. La desviación total de espesor (TTV) de obleas de φ75 mm es inferior a 2 μm;

2. La desviación total de espesor (TTV) de obleas de φ100 mm es inferior a 3 μm;

3. La desviación total de espesor (TTV) de obleas de φ150 mm es inferior a 4 μm.

Tipos de muestras que se pueden procesar:

Silicio, carburo de silicio, diamante, cerámicas, nitruro de galio, cuarzo, antimonuro de galio, fosfuro de indio, arseniuro de galio, telururo de cinc y cadmio, telururo de mercurio y cadmio, niobato de litio y otros materiales semiconductores.

Características del equipo:

1. Función de detección del punto final para controlar el espesor de la muestra.

2. Control en línea y en tiempo real de la temperatura de las placas de desbaste y pulido, así como función de refrigeración.

3. Sistema de alimentación multicanal.

4. Función de limpieza automática de las placas de desbaste y pulido.

5. Función automática de reparación de placas.

6. El portaobjetos está equipado con una mesa digital de monitorización del espesor con una precisión de monitorización de 0,1 μm.

Parámetros técnicos:

Configuración del Dispositivo:

Preguntas frecuentes

1. Acerca del Precio:

Todos nuestros precios son competitivos y negociables. El precio varía dependiendo de la configuración y la complejidad de personalización de tu dispositivo.

2. Acerca de la Muestra:

Podemos proporcionarte servicios de producción de muestras, pero es posible que debas cubrir algunos gastos.

3. Acerca del Pago:

Una vez confirmado el plan, necesitas pagar un depósito primero, y la fábrica comenzará a preparar los productos. Después de que el equipo esté listo y pagues el saldo, lo enviaremos.

4. Acerca de la Entrega:

Una vez que se completa la fabricación del equipo, te enviaremos el video de aceptación, y también puedes venir al lugar para inspeccionar el equipo.

5. Instalación y Ajuste:

Después de que el equipo llegue a tu fábrica, podemos enviar ingenieros para instalar y ajustar el equipo. Te proporcionaremos una cotización separada por este costo de servicio.

6. Acerca de la garantía:

Nuestro equipo tiene un período de garantía de 12 meses. Después del período de garantía, si alguna pieza está dañada y necesita ser reemplazada, solo cobraremos el precio de costo.

7. Servicio Postventa:

Todas las máquinas tienen un período de garantía de más de un año. Nuestros ingenieros técnicos siempre están en línea para brindarle servicios de instalación, puesta a punto y mantenimiento del equipo. Podemos ofrecer servicios de instalación y puesta a punto en el lugar para equipos especiales y grandes.