Máquina de colocación de obleas de alta precisión MD-0064L , China Máquina de colocación de obleas de alta precisión MD-0064L Manufacturers, Suppliers, Factory

Máquina de colocación de matrices de alta precisión MD-0064L

La máquina de colocación de matrices de alta precisión MD-0064L consta de varias subunidades modulares:

1. Cabeza de unión de matrices de accionamiento directo personalizada con rotación de boquilla de 360°.

2. Etapa de recogida de matrices controlada por un motor lineal y una escala lineal magnética de alta precisión.

3. Sistema de visión con resolución de 1,3 megapíxeles para posicionamiento preciso.

4. Etapa de colocación equipada con un motor lineal y una escala lineal magnética de alta precisión.

5. Modo integrado en línea para la carga y descarga del portador (marco o anillo de oblea).

6. Cámara CCD orientada hacia abajo para la corrección angular del dado sujeto en la boquilla.

7. Sistema automático de intercambio de anillos para marcos de obleas de 8 pulgadas (anillos exterior e interior).

Características de rendimiento del equipo:

1. Alta velocidad: Velocidad líder en la industria, adaptada a los requisitos del proceso del cliente.

2. Alta precisión: Precisión líder en la industria (para máscaras de fotolitografía y chips), adaptada a los requisitos del proceso del cliente.

3. Precisión angular: ±0,5°

4. Precisión de colocación: ±15 μm

5. Ajuste de presión: Ajustable desde 30 g hasta 200 g.

6. Cabeza de unión lineal (con boquilla rotatoria 360°).

7. Opciones versátiles de alineación basadas en visión (contorno, puntos de referencia, detección de bordes, detección de círculos).

8. Supervisión y seguimiento de calidad CPK.

9. Configuración en línea: admite procesamiento serial de múltiples unidades para el embalaje de dispositivos.

Estructura del equipo:

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Dimensiones del equipo:

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Flujo de trabajo:

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Introducción a las mesas de trabajo personalizadas de 3 ejes:

1. Esta cabeza de unión lineal de tres ejes es una unidad personalizada de alta velocidad capaz de movimiento en las direcciones X, Y y Z.

2. La boquilla de unión incorpora funciones de corrección de ángulo y control de presión.

3. El control del ángulo se gestiona mediante un motor de accionamiento directo (DD) con una resolución de 0,0025°.

4. La repetibilidad de los ejes XYZ es de ±2 µm.

Estación de montaje y portadores:

1. El sistema XY utiliza motores lineales combinados con codificadores lineales magnéticos de alta precisión para su control;

2. Los ejes X e Y ofrecen una repetibilidad de ±2 µm.

Especificaciones Técnicas:

UPH	0,5–2 K (según los materiales reales)
Precisión de posición de colocación (X, Y)	±15 µ m (para componentes cerámicos ≤ 5 mm); ±25 µ m (para componentes cerámicos ~10 mm)
Precisión angular de colocación	±1°
Rango y precisión de la fuerza de colocación	30–200 g (tolerancia ±10 %)
Método de carga/descarga	Modo en línea
Resolución/precisión máxima de la cámara	2 µ m (precisión combinada de visión)
Tamaños de obleas/chips compatibles	3mm-12mm
Campo visual (FOV) de la cámara	5 mm a 20 mm
Número de boquillas de recogida	1pieza
Recorrido de la plataforma para obleas	portaobleas de 8 pulgadas (marco y anillo interior)
Materiales que se van a unir/montar	Componentes cerámicos, chips semiconductores o componentes electrónicos en bandejas
Rango de tamaño de la plataforma de colocación	Ancho: 77 mm ; Longitud: 100 mm
Altura de la consola del operador	900 mm ± 30 mm
Fuente de alimentación	Ac 220v/50hz
Consumo de energía	900A
Aire comprimido	0,4 a 0,6 MPa
Dimensiones externas (ancho × profundidad × altura) (sin unidades de carga/descarga)	1300 × 1250 × 1950 mm
PESO NETO	1200 kg

Aplicación de diversos algoritmos de visión:

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