Modelo: MDST-6100
El eliminador de capas en seco con plasma ICP es adecuado para aplicaciones como la eliminación de residuos (pretratamiento y eliminación de residuos), la eliminación de polímeros (PI, BCB, PBO) y la eliminación de fotorresista tras la implantación iónica; la cámara acepta muestras de 8 pulgadas (con compatibilidad para tamaños de 4 y 6 pulgadas).
Eliminador de resistencia fotográfica por plasma seco ICP
El eliminador de capas en seco con plasma ICP es adecuado para aplicaciones como la eliminación de residuos (pretratamiento y eliminación de residuos), la eliminación de polímeros (PI, BCB, PBO) y la eliminación de fotorresista tras la implantación iónica; la cámara acepta muestras de 8 pulgadas (con compatibilidad para tamaños de 4 y 6 pulgadas).
El aspecto del equipo está sujeto a actualizaciones y ajustes continuos; prevalecerá el producto real enviado.
Ventajas:
Alto grado de ionización y descomposición del plasma
Tras el tratamiento con plasma, la reproducibilidad es elevada
Grabado en seco, sin fuente de contaminación
Control de presión y temperatura mediante válvulas de mariposa
Capaz de mantener el plasma a alta presión
Separación entre la fuente de alta tensión y el generador de iones
La unión de microondas y el circuito magnético son compatibles
Puede satisfacer los requisitos del cliente
Baja temperatura durante el procesamiento
Velocidad de respuesta rápida y tiempo de respuesta corto
Modelo |
MDST6100 |
Fuente de plasma |
frecuencia de radio |
potencia |
1000 W |
Ámbito de aplicación |
8 pulgadas (compatible con 4 o 6 pulgadas) |
Tamaño de la caja |
25 piezas |
Dimensiones generales |
L1696xAn2170xA2146 mm |
Control del sistema |
PLC |
Sistema de caja de material |
Automático |
Fotos reales del equipo:
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Derechos de autor © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Todos los derechos reservados
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
