Eliminador de resistencia fotográfica por plasma seco ICP , China Eliminador de resistencia fotográfica por plasma seco ICP Manufacturers, Suppliers, Factory

Eliminador de resistencia fotográfica por plasma seco ICP

El eliminador de resistencia fotográfica por plasma seco ICP se utiliza principalmente para la eliminación de polímeros, la incineración (ashing), la eliminación de residuos superficiales (descumming), la eliminación de resistencia fotográfica tras la implantación iónica y la limpieza de residuos superficiales. La cámara MDST3100 acepta muestras de 4 a 8 pulgadas con capacidad de procesamiento de una sola oblea, mientras que la cámara MDST3200 acepta muestras de 4 a 8 pulgadas con capacidad de dos obleas por lote.

El aspecto del equipo está sujeto a actualizaciones y ajustes continuos; prevalecerá el producto real enviado.

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工艺流程.png(5c78296a74).jpg 去除光刻胶去胶机 (5)(130d03181e).jpg

Lavado

Eliminación de polímeros

DESCUM

Limpieza en seco de la capa de máscara dura

Eliminación de la fotoresistencia tras la implantación iónica

Eliminación de residuos superficiales

Eliminación de fotoresistencias en el proceso BAW/SAW

Limpieza en seco de la capa de película gráfica antirreflejo

Limpieza superficial después del etchado

Ventajas:

Alto grado de ionización y descomposición del plasma

Tras el tratamiento con plasma, la reproducibilidad es elevada

Grabado en seco, sin fuente de contaminación

Control de presión y temperatura mediante válvulas de mariposa

Capaz de mantener el plasma a alta presión

Separación entre la fuente de alta tensión y el generador de iones

La unión de microondas y el circuito magnético son compatibles

Puede satisfacer los requisitos del cliente

Baja temperatura durante el procesamiento

Velocidad de respuesta rápida y tiempo de respuesta corto

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Modelo		MDST3100	MDST3200
Fuente de plasma		RF	RF
Potencia	ICP	1000 W	1000 W
	BIAS	NA	NA
Ámbito de aplicación		de 4 a 8 pulgadas	de 4 a 8 pulgadas
Número de obleas procesadas en una sola operación		1	2
Dimensiones generales		1300x1190x1847 mm	1300x1650x1850 mm
Control del sistema		Sistema de Control Industrial
grado de automatización		Automático