MCXJ-MLS8 Maskenlose Lithografie-System , China MCXJ-MLS8 Maskenlose Lithografie-System Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeschreibung

Muster:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Geräteaufbaustrukturdiagramm

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Spezifikation

Aufbaustrukturdiagramm der Belichtungsanlage

struktur	veranschaulichen
Belichtungstisch	Belichtungsgebiet: Tisch, Substratplatzierungsgebiet
Optisches System	Laserausstoßformgebiet
Umgebungskontrollsysteem	Kontrolliert die innere Temperatur und den Überdruck des Geräts
Plattformsystem	Steuert die Bewegung der Belichtungstisch, um den Vorgang des Belichtungspfads abzuschließen
Kontrollsystem	Steuerungssystem des gesamten Geräts

Hinweis: Aufgrund des Upgrades der Maschine kann das tatsächliche Erscheinungsbild sich ändern, spezifische Details beziehen sich auf das tatsächliche Produkt.

Nein.	UMWELT	Erfordern
1	Lichtquellenumgebung	Gelbes Licht
2	Temperatur	22℃±2℃
3	Feuchtigkeit	50%±10%
4	Sauberkeit	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, trocken, saubere Luft
6	Stromversorgung	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Das Erdkabel muss erdet sein
7	Kühlwasser	Temp.：10℃~ 20℃ Druck：0.3MPa ~ 0.5MPa Durchfluss：20L/min Druckdifferenz：0.3MPa oder höher Anschlusskaliber：Rc3/8
8	Ort der Veranstaltung	ebene：±3mm/3000mm Schwingung：VC-B Lager：750kg/㎡
10	Internet	Ein Netzwerkport
11	Maschinengröße	130011002100mm
12	Gerategewicht	1500 kg

Nein.	Projekt	Spezifikationen.	Bemerkung
1	Auflösung	0.6um/oder andere Anforderungen	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Substratdicken	0.2mm～4mm
4	Datumsgittergenauigkeit	60nm
5	Überlagerung	±500nm	130mmx130mm
6	Verkettungsngenauigkeit	±200nm	AZ703
7	MAX Belichtungsgröße	190X190mm
8	Durchsatz	≥300mm²/min	≤50mj/cm²;
9	lichtquelle<br>	LD 375nm
10	lichtleistung	6W
11	Energiegleichmäßigkeit	≥95%
12	lampenleben	10000h

Verpackung & Lieferung

Unternehmensprofil

Wir haben 16 Jahre Erfahrung im Geräteverkauf. Wir können Ihnen eine umfassende professionelle Lösung für Halbleiter-Ausrüstungen aus China sowohl für Front- als auch für Back-End-Bereiche bieten.