структура |
дайте пример |
Експониране на масата |
Площ за експозиция: маса, площ за поставяне на субстрат |
Оптична система |
Област за изсвирване на лазер |
Система за контрол на околната среда |
Контролира вътрешната температура и положителното налягане на устройството |
Система за платформа |
Контролира движението на масата за експозиция, за да завърши операцията по пътя на експозицията |
Контролна система |
Система за управление на цялото оборудване |
Не. |
Околна среда |
Изискват |
1 |
Светлинна среда |
Жълто светлина |
2 |
Температура |
22℃±2℃ |
3 |
Влажност |
50%±10% |
4 |
Чистота |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, сух, чист въздух |
6 |
Енергиен източник |
220~240В, 50/60Hz, 2.5КВт; Заземлението трябва да е заземено, |
7 |
Хладна вода |
Температура: 10℃~ 20℃ Налягане: 0.3МПа ~ 0.5МПа Препълнение: 20Л/мин Разлика в налягането: 0.3МПа и повече Диаметър на връзката: Rc3/8 |
8 |
Място за провеждане |
ниво: ±3мм/3000мм трептение: VC-B Подшипник: 750кг/кв.м |
10 |
Интернет |
Един интернет порт |
11 |
Размер на машината |
1300*1100*2100мм |
12 |
Тегло на устройството |
1500кг |
Не. |
Проект |
Спецификация. |
Забележка |
1 |
Резолюция |
0.6мкм/или друго изискване |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1мкм |
|
3 |
Толщина на субстрата |
0.2мм~4мм |
|
4 |
Точност на датова мрежа |
60нм |
|
5 |
Наслоение |
±500нм |
130mmx130mm |
6 |
Точност на шейване |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Максимален размер на експозиция |
190X190mm |
|
8 |
Пропускана способност |
≥300mm2/min |
≤50mj/cm2; |
9 |
източник на светлина |
LD 375nm |
|
10 |
свързана мощност |
6W |
|
11 |
Енергийна равномерност |
≥95% |
|
12 |
жизнен циклус на светлината |
10000hr |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
