MCXJ-MLS8 Maska-sız Litografi Sistemi , China MCXJ-MLS8 Maska-sız Litografi Sistemi Manufacturers, Suppliers, Factory

Məhsul Təsviri

Nümunə:

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System manufacture

Təsnif aparıcı struktur şəkli

MCXJ-MLS8 Maskless lithography System supplier

Speksifikasiya

Aşkarlama əsas struktur şəkli

struktur	təsviri
Aşkarlama masası	Aşkarlama sahəsi: masa, subtrat yerləşdirilmə sahəsi
Optik sistem	Lazer işıq formatlaşdırma sahəsi
Çevrə idarəetmə sistemi	Qurumun daxili temperaturnu və pozitiv basıncını idarə edir
Platforma sistemi	Əksposura masasının hərəkətini idarə edərək əksposura yolu operasiyasını tamamlayır
İdarəetmə Sistemi	Bütün təchizatın idarəetmə sistemi

Əks: Maşinin yenilənməsi faktiki görünüşü dəyişdirmək olar, məcburi şəkildə faktiki məhsula əsaslanılır.

Yoq.	Mühit	Talab
1	İşıq mühiti	Sarı işıq
2	Temperatur	22℃±2℃
3	Rütubət	50%±10%
4	پاکلیق	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, yuxarı, təmiz hava
6	Enerji taminatı	220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Zemin kabeli zərurən qarşıya bağlanmalıdır,
7	Sozma suyu	Temperatur: 10℃~ 20℃ Basınç: 0.3MPa ~ 0.5MPa Ədviyyat sürəti: 20L/dəq Basınç fərqini: 0.3MPa-dan yüksək Kolça直径：Rc3/8
8	Məkan	səviyyə: ±3mm/3000mm sallanma: VC-B Dəstə: 750kg/㎡
10	Internet	Bir şəbəkə portu
11	Maşın ölçüsü	130011002100mm
12	Qurğunun çəki	1500 کیلو

Yoq.	Layihə	Əlaqə	Qeyd
1	Həll	0.6um/və ya başqa tələb	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1um
3	Substratların qalınlığı	0.2mm～4mm
4	Tarix ədədi doğruluğu	60nm
5	Üst-üstə qatışma	±500nm	130mmx130mm
6	Qoşulma dəqiqliyi	±200nm	AZ703
7	Ən böyük işıq açığı ölçüsü	190X190mm
8	Gönderim miqdarı	≥300mm²/min	≤50mj/cm2;
9	i̇şıq Mənbəyi	LD 375nm
10	نور گوجو	6W
11	Enerji birləşməsi	≥95%
12	işıq ömrü	10000 saat

Qablaşdırma və Çatdırılma

Şirkət Profili

Biz 16 il təcrübəyə malik equipment satışında dayandırıq. Sizə Çin dən One-stop Semikonduktor ildəm və arxa əlaqəli Paket Cəmiyyət xətti texniki həll təklif edə bilərik.