Maskalaynerin rezolyusiyası, aşkar edə biləcəyiniz minimum xətt və ya naxış ölçüsünü göstərir. Rezolyusiya nə qədər yüksək olarsa, naxışlar bir o qədər dəqiq və aydın olar. Laboratoriyadakı bir maskalaynerin rezolyusiyası nə qədər yaxşı (və ya pis) olur və əgər müştərilər əsas prinsiplərdən kənara çıxsa, gələcək modellərdən nə gözləyə bilərlər? Maska Düzəltməci laboratoriyada və gələcək modellərdən nə gözləmək olar, əgər əsas prinsiplərdən kənara çıxılsa?

Yüksək rezolyusiyalı tətbiqlər üçün laboratoriya maskalaynerində mümkün olan maksimum rezolyusiya nədir?

Laboratoriyada bir maskalaynerin əldə edə bildiyi maksimum rezolyusiyaya təsir edən bir neçə amil var, bunlara istifadə olunan işıq növü, optikanın keyfiyyəti və cihazın nə dərəcədə düzgün tənzimlənməsi daxildir. Laboratoriyalarda Laboratoriya istifadəsi üçün Mask Alyigner bir neçə mikrometrə qədər (bəzən 1 mikrona və ya daha aşağı) rezolyusiya əldə etmək mümkündür.

Digər bir məsələ maskanın özüdür – əgər yüksək dəqiqliklə düzgün şəkildə hazırlanmamışsa, nəticədə alınan "naxış" kifayət qədər aydın olmayacaq. Bundan əlavə, naxışların bulanması/çevrilməsinin qarşısını almaq üçün düzləndirmə dəqiq olmalıdır. Minder-Hightech mask aligner fotolitografiya maşınlarının ən son düzləndirmə sistemləri işıqlandırma səhvlərini minimuma endirir.

Laboratoriyada istifadə olunan Maskalaynerin əldə edə biləcəyi rezolyusiya nədir?

Topdan satılan maska düzləndiricilərindən istifadə edənlər tələblərindən asılı olaraq hansı rezolyusiyanı alacaqlarını bilməlidirlər, əgər inkişaf etmiş maska düzləndiricilər alırlarsa. Həmişə Minder-Hightech-də alışdan əvvəl maşının texniki xüsusiyyətlərini diqqətlə yoxlamaq ən yaxşısıdır. Müasir maska düzləndiricilərin əksəriyyəti 1-5 mikrometr arasındakı ümumi tətbiqləri təmin edir. Lakin bəzi modellər xüsusi tətbiqlər üçün daha da incə, tək mikrometrdən aşağıya enə bilər.

Laboratoriyalarda maska düzləndiricilərinin həqiqi rezolyusiya limitləri nədir?

Laboratoriyada maska həmtarazlıqlarının təsvir dəqiqliyini bir neçə vacib amil müəyyən edir. Bu parametrləri bilmək istifadəçilərə cihazlarından maksimum səviyyədə yararlanmağa imkan verir. Biz bu cür təsirlərə nisbətən davamlı olan maska həmtarazlıqları hazırlayırıq, lakin təsvir dəqiqliyinə təsir edən amilləri bilmək yaxşıdır.

Mass istehsal üçün maska həmtarazlıqlarından istifadə etməklə bağlı ümumi problemlər hansılardır?

Minder-Hightech tipi maska həmtarazlıqlarından istifadə olunduqda kütləvi istehsal üçün ümumi təsvir dəqiqliyi problemi ola bilər. Kütləvi istehsal eyni nümunənin tez və dəqiq şəkildə çox sayda surətinin çıxarılmasını nəzərdə tutur. Minder-Hightech firmasının maska həmtarazlıqları dəqiqliyə uyğunlaşdırılmış olsa da, müəyyən mürəkkəbliklər ən yaxşı təsvir dəqiqliyini saxlamağı çətinləşdirə bilər.