İlk etapda, əsas materialın səthini xüsusi işıq-reaktiv material ilə kaplamalıyıq. Bu, prosesdə əsas rol oynayan fotosensitiv materialdır. Sonra səthində bəzi nümunə olan maska istifadə edirik və onu bu qat üstdə yerləşdiririk. Maska, seçilmiş yerlərə işıq keçirdiyi dərəcəli dərəcələrlə xidmət edir. Növbəti addımda, maskadakı nümunəni görə bilmədiyimiz UV işığa maruz qoyuruq. Bu işıq, kəsişmiş forması ilə işığı sənəyə salanda gölgə yarada biləcəyi kimi fotosensitiv materialın şəklini yaradır. Son addımda isə, əsas materialı tərtib olunan haldə developer adlanan rəvənə daldırırıq. Bu proses, işıqa maruz qalan fotosensitiv qatı silir və əsas material üzərinə nümunəni göstərir.
Içində Sirt Bonderi ən böyük hissələrdən biri, əsas olaraq üç əsas addımda baş verən xətalardır və yaxşı, dəqiqlik nəticələr əldə etmək çox vacibdir. Qatqandırma a) Qatqandırma əməliyyatı fotosensitiv materialı əsas materialın üstü ilə bərabər örtməkdir. Yəni, əsas materialın hər parçası eyni miqdarda xüsusi maddəyə malik olmalıdır. Başqa sözlə, mükəmməl düz və səviyyəli səth əldə etmək üçün ədədi maşınları istifadə edirik. Bu addımda keyfiyyəti yoxlayırıq (səth tərəfindən qarışıqlıq və ya defekt yoxdur).
Rəyondan istifadəsi, materialın açıq hissəsini silmək üçün istifadə olunur və 3-cü addımda - rəyonlaşdırma zamanı nümunə yaradılır. Amma bu addımı də hələ səhv edə bilərik. Materialı çox uzun müddət rəyonda qalmamalıyıq və əgər rəyon çox güclü isə, yarada bilmədiyimiz nümunəni pozacaq. Deməli, yaxşı nəticələr almaq üçün rəyonların vaxtını və konsentrasiyasını çox dəqiq idarə etməliyik.
Əsas faydası Sürətli birləşdirici maşın çox kiçik komponentləri təsvir etmək imkanıdır. Bu, bizə yüksək performans göstərən çox kiçik hissələr hazırlamaq imkanı verir. Usul, mass produksiyaya da çox faydalıdır; bu, bizə qişiq vaxtda bir çox hissə hazırlamağa imkan verir. Bu, bəzən bəzi eyni hissələrə görə çox yüksək tələb olan endüstrijalar (məsələn, elektronika endüstrijası) üçün xüsusilə vacibdir.
Digər tərəfdən, bəzi mənaçlar da var. Mask aligner foto litografiyasının məşinləri və onun üçün istifadə olunan materiallardan görə yüksək maliyeti, bu metodla gələn ən böyük çətinliklərdən biridir. Məşinlər çox qədirdir və biz, onların də qiyməti yüksəkdir ki, bu da yüksək keyfiyyətli ham materiallara ehtiyacımız olsun. Ayrıca, bu növ metod ilə 10 nm-dən kiçik xüsusiyyətlər yaradıla bilmir. Bu, biz adətən daha kiçik və daha güclü şeylərin inşa edilməsini itirib çıxarmaqda olduğumuz üçün əhəmiyyətli dir. Bundan əlavə, proses çox müxtəlif sirlənməyə məyllidir, beləliklə, bunu çox təmiz ortamda (üzünlüklərlə bağlı olaraq) yerinə yetirmək lazımdır. Bu tələb, işləri biraz daha mürəkkəb və daha qədirdir.
Elektronika ilə tibb kimi sahələrdə, mask həvəzləyici fotolitografiya əsasən araşdırma və inkişaf üzərinedir. SU-8-in elektronika sənayesində inteqrallı şəbəkələr, sensör və displeylər kimi mikroelektron cihazların istehsalında tamamilə dəstqası lazımdır. Bu strukturların hazırlanması bu işi yerinə yetirmək üçün əsasən xüsusi alətlər tələb edir, EVG(R) mask həvəzləyici və EVG(R) wafer qoşma sistemi yaxşı nümunələrdir.
Misəl olaraq, tibbiyyatçılar gövüd sıvılarının analizində istifadə ediləcək mikroskopik kanalların inkişaf etməsində fotolitografiadan istifadə edirlər; bu texnologiya lab-on-a-chip adlanan şeyin hissəsidir. Bu texnologiyadan istifadə edərək, sıvılar təhlükəsiz və daha sürətli şəkildə analiz edilə bilər ki, bu da xasilişən məhsulun sağlamlığı haqqında ətraflı məlumat verir. Mikro və nanofluidl sistemlərinin hazırlanmasında fotolitografiada mask alignerindən də istifadə edilə bilər. Düzgündürsə, bu sistemlər pacientlər üçün dəri ilə bağlı dozların səsləşdirilməsini artıracaq, yaxud tedbirin effektivliyini və təhlükəsizliyini.
Hüquqlar qorunur © Guanzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Bütün hüquqlar qorunur