struktuur |
verduidelik |
Uitstraling van die tafel |
Uitstralingsgebied: tafel, substraatplaasgebied |
Optiese stelsel |
Laseruitstootvormingsgebied |
Omgewingsbeheerstelsel |
Beheer die interne temperatuur en positiewe druk van die toestel |
Platformstelsel |
Beheer die beweging van die uitskakelingstafel om die operasie van die uitskakelingpad te voltooi |
Beheerstelsel |
Beheersisteem van die hele apparatuur |
NE. |
Omgewing |
Vereis |
1 |
Ligbron-omgewing |
Geel lig |
2 |
Temperatuur |
22℃±2℃ |
3 |
Humiditeit |
50%±10% |
4 |
Skoonheid |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, droog, skoon lug |
6 |
Kragtoevoer |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW; Die gronddraad moet aangesluit wees |
7 |
Koelwater |
Temperatuur: 10℃~ 20℃ Druk: 0.3MPa ~ 0.5MPa Vloeiwyse: 20L/min Druksverskil: 0.3MPa of meer Aansluiting kaliber: Rc3/8 |
8 |
Venue |
vlakheid: ±3mm/3000mm skommel: VC-B Draaiingspunt: 750kg/㎡ |
10 |
Internet |
Een netwerkpoort |
11 |
Masjien grootte |
1300*1100*2100mm |
12 |
Toestelgewig |
1500kg |
NE. |
Projek |
Spesifikasies. |
Opmerking |
1 |
Besluit |
0.6um/of ander vereiste |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Substraat dikte |
0.2mm～4mm |
|
4 |
Datumroosterakkuraatheid |
60nm |
|
5 |
Oplegging |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Naaiakuraatheid |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Maksimum beligtingsgrootte |
190X190mm |
|
8 |
Deurset |
≥300mm²/min |
≤50mj/cm²; |
9 |
ligbron |
LD 375nm |
|
10 |
ligkrag |
6W |
|
11 |
Energie-uniformiteit |
≥95% |
|
12 |
liglewe |
10000hr |
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Kopiereg © Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd. Alle regte voorbehou.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
