


Розмір пластини |
4”~ 8” пластина |
Товщина пластини |
100~750 мікрон |
Тип пластини |
Si, SiC, GaN або інші матеріали |
Тип фільму |
Синя фільма, УФ-фільма Ширина: 230 ~ 300 мм Довжина: 100 м Товщина: 0.05 ~ 0.2 мм |
Кільце для транспортування пластин |
6”, 8” DISCO |
Метод завантаження та роззавантаження |
Ручне місцезнаходження та видалення пластина/кільця |
Точність позиціонування фільми |
±0,5 мм Стандартні пластини для кристалів діаметром 6" та 8" для кристалів розміром 6" та 8" |
Вакуумний насос |
Minder-Hightech |
Антистатичний контроль |
Вентилятор деіонізації |
Контрольний блок |
На основі керування ПЛК, з 10-дюймовим сенсорним екраном |
Захист безпеки |
Опалювано захисною световою завесою та кнопкою аварійної зупинки |
Напруження живлення |
Одnofазне AC 220B, 16A |
Сціслене повітря |
0.45~0.6MPa, об'єм потоку 70Л/хв |
Корпус машини |
Білий металевий корпус, посмакований пластиковим покриттям |
Об'єм |
850мм (ширина)*1750мм (глибина)*1970мм (висота) |
Чиста вага |
480кг |


Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені