Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
EN
Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Отримати пропозицію

Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Домашня сторінка
Про Нас
Обладнання MH
Рішення
Заграничні Користувачі
Відео
Зв’язатися з нами
Головна> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)
  • Машина для етchingу іонами реакції (RIE)

Машина для етchingу іонами реакції (RIE)

Отримати безкоштовну цитату
Опис товару

RIE Машинa реакційного іонного травлення

Дослідницьке застосування машин реакційного іонного травлення RlE у виробництві напівпровідників і мікро-нанообробці переважно проявляється в обробці нанорозмірних структур, травленні нових матеріалів, виготовленні складних пристроїв та прориві в міждисциплінарних технологіях. Їхня основна цінність полягає в досягненні високоточної та високоселективної обробки матеріалів за допомогою координованого контролю фізичного бомбардування й хімічних реакцій. Підтримує дослідження на передньому краї напівпровідникової технології та інноваційні пристрої.

Характеристики обладнання:

1. Висока точність і анізотропність: може виконувати травлення зображення зі стрімкими бічними стінками та точними розмірами.
2. Добра однорідність і відтворюваність: придатна для масового виробництва.
3. Широка примінність матеріалів: шляхом вибору різних газових комбінацій можна травити різноманітні матеріали (напівпровідники, діелектрики, метали тощо).
4. Високий коефіцієнт селективності: дозволяє точно травити певні матеріали, не завдаючи значної шкоди іншим матеріалам.
5. Очищення: сухий процес, уникнення проблем, пов'язаних з очищенням та обробкою стічних вод під час мокрого травлення.
Специфікація
Конфігурація системи:
Електричне опалення
Камера (однокамерна)
Н/Д
Тип нижнього електрода
242mm
Температурний діапазон процесу
-20-100°C
Plasma source
600 Вт - 1000 Вт
Розмір манометра процесу
100 мторр
Вакуумна система
Молекулярні насосні установки, сухі насосні системи, робоча камера
Кількість етчингових камер
Одна порожнина
Застежки
Тип
Розмір/mm
Матеріалу
Н/Д
8、6、4、3、2
Детектор кінцевої точки
Варіант
Індуктивно зв’язана плазма
Варіант
Технічні параметри:
Матеріал для етчингу
Si、Sio, Sin，Sau，Pt，Al
Швидкість етчингу
>20 нм/хв (матеріал SiO2). Швидкості для різних матеріалів відрізняються
Розподілений контроль
>85°
Метод завантаження
Відкрите завантаження
Газопровід керований МРК
Доступні шість газових балонів
Опція охолодження зворотного боку гелієм
Так
Інтерфейс човек-машина
Керування сенсорним екраном
Режим роботи
Повністю автоматичний режим, не повністю автоматичний режим
Вибір та налаштування автоматизованих пристроїв
Можна вибрати імпортні або вітчизняні комплектуючі
Вимоги
Упаковка та доставка
Часті запитання
1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити нам депозит, і завод почне готувати товар. Після того як обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

7. Післяпродажне обслуговування:
Усі машини мають гарантійний термін більше одного року. Наші технічні інженери завжди онлайн, щоб надати вам послуги з встановлення, налаштування та обслуговування обладнання. Ми можемо надати послуги з встановлення та налаштування на місці для спеціального та великого обладнання.

Більше товарів

Запит

Авторське право © Гуанчжоу Minder-Hightech Co., Ltd. Всі права захищені

Політика конфіденційності

Запит Email Whatsapp WeChat
Верхній
×

Зв’яжіться з нами