Машина для точного гратування та полірування півпровідникових матеріалів , China Машина для точного гратування та полірування півпровідникових матеріалів Manufacturers, Suppliers, Factory - Компанія Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.

Опис товару

Огляд обладнання:

Шліфувально-полірувальний верстат MDAM-CMP100/150 — це високоточне шліфувальне й полірувальне обладнання, призначене для роботи з напівпровідниковими та оптоелектронними матеріалами. Основне призначення — шліфування та утонення кристалів основних напівпровідникових матеріалів, таких як кремній, діоксид кремнію та індій-антимонідні матриці, а також хіміко-механічне полірування нижньої, верхньої та торцевих поверхонь. Усе обладнання й усі його компоненти повністю захищені від корозії, а технологічні параметри можна задавати за допомогою сенсорного інтерактивного інтерфейсу.

Науковий і раціональний дизайн, передові характеристики, високий ступінь автоматизації, зручне керування, простота обслуговування та висока надійність; з’єднання зразків із підкладкою, шліфування та зменшення товщини, хіміко-механічне полірування, а також логічне поєднання процесів перед та після виявлення забезпечують узгодженість розмірів обробки для кожної функції обладнання. Шляхом налаштування різних компонентів апаратного забезпечення та споживних матеріалів можна реалізувати кілька конфігурацій пристрою та технологічних рішень, щоб задовольнити різноманітні технічні вимоги користувачів, зокрема щодо різних матеріалів та розмірів.

З розвитком напівпровідникової технології, вимоги до продуктивності та функціональності інтегральних схем постійно зростають. Технології TSV (Through Silicon Via) та TGV (Through Glass Via), як сучасні технології упаковування та з'єднань, можуть ефективно покращити інтеграцію та продуктивність чипів. Цей пристрій має унікальний процесовий план для реалізації технології TSV/TGV.

Переваги обладнання:

* Незалежна та мобільна система управління за допомогою дотикового екрану;
* Виконує шлифування та полірування граней чипа, а також підготовку спеціальних кутів;
* Може зберігати 100 процесових меню;
* Функція детекції кінцевої точки EPD;
* Опціональне удосконалення до 3-канальної системи подачі;
* Призначений для розмірів вибірок до 6 дюймів включно.

Функції пристрою:

Точарний і полірувальний апарат MDAM-CMP100/150, головна одиниця та всі запасні частини виготовлені з матеріалів, що високопричиняють корозію. Вся машина є корозійностійною, стабільною, износостійкою та захищеною від ржавлини, призначена для хіміко-механічного точення та полірування різних напівпровідників. Робоча зона відокремлена від зони дисплея та керування, і керується цифрово за допомогою системи керування з сенсорним екраном. Вона CNC-керована, може зберігати дані та відновлювати їх.

Система пристрою має функцію таймера, яка дозволяє працювати неперервано протягом 10 годин і керувати швидкістю полірувального диска. Панель керування розміщена поза робочою зоной, щоб запобігти потраплянню абразивного розчину на панель керування. Усі параметри пристрою можна налаштувати на екрані з дотиковим керуванням. Процесні параметри пристрою мають функції зберігання та відновлення для забезпечення послідовності та повторюваності процесу. Взірковий диск адсорбовується на нижній поверхні фіксаційного пристрою за допомогою вакуумного насосування, що оснащено безолевим вакуумним насосом, а також має незалежну функцію захисту від зворотного всмоктування.

Система водіння вертикальної обертання приладу для зразків має функцію маятникового руху, з діапазоном ходу 0-100% регулювання. Амплітуда і частота маятникового руху можуть бути точно встановлені через панель керування. Прилад оснащений незалежною системою приводу для обертання, з регулюваною швидкістю у діапазоні 0-120 об./хв. Ця функціональна конструкція забезпечує повний маятниковий полірування зразка під час процесу грати та полірування, що значно покращує міцність та ефективність пристрою.

Прилад оснащений цифровим столом для моніторингу товщини з точністю моніторингу 1 μ m. Тиск приладу на зразок чипа є неперервно регулюванним, з діапазоном тиску 0-3,5 кг і точністю 2 г/см², а також оснащений пристроєм вимірювання тиску.

Робота шліфувального та полірувального диска керується головним приводом, а швидкість обертання диска може регулюватися в діапазоні від 0 до 120 обертів на хвилину. Цей діапазон регулювання швидкості ефективно забезпечує оптимальну швидкість шліфування та полірування зразків із матеріалів різної твердості та розмірів, що дозволяє досягти вищих показників технологічного процесу.

Заміна шліфувальних і полірувальних дисків є простою та швидкою завдяки вбудованим дискам, які дозволяють обладнанню швидко переходити від шліфування до полірування, значно скорочуючи тривалість процесу. Крім того, шліфувальний диск оснащений блоком для відновлення поверхні диска, що забезпечує його добру площинність.

Специфікація

Модель	MDAM-CMP100	MDAM-CMP150
Розмір пластини	4 дюйми та менше	6 дюймів та менше
Діаметр робочої пластини	420мм	420мм
Станція	≤4	≤2
Вхідний порт	≤3
Блок живлення	220V, 10A
Час	0-10 годин
Температура навколишнього середовища	20℃~35℃
Швидкість пластини	0-120об/хв
Швидкість кріплення	0-120об/хв

Компонент системи кріплення пробірки	Зажим, роликовий манеток
Складова процесу лапування	Плита для лапування, блок ремонту плити та циліндра
Складова процесу полірування	Система подачі поліруючої рідини та поліруюча плита
Детекторний компонент	Тестова базова платформа, тестувальник рівності, манометр тискового тесту
Пакет матеріалів для лапування та полірування вафер	Лапна пудра, поліруючий розчин, поліруюча тканина, воск, засіб для видалення воску, стекляний підкладний аркуш

Часті запитання

1. Про ціну:
Усі наші ціни є конкурентоспроможними та переговорними. Ціна варіюється в залежності від конфігурації та складності індивідуального замовлення вашого пристрою.

2. Про вибірку:
Ми можемо надати послуги виробництва вибірок для вас, але вам можливо доведеться оплатити деякі витрати.

3. Про оплату:
Після підтвердження плану, вам потрібно спочатку заплатити аванс, і завод почне готувати товар. Після того, як
обладнання буде готове, а ви сплатите решту, ми його відправимо.

4. Про доставку:
Після завершення виготовлення обладнання, ми надішлемо вам відео приймання, і ви також можете приїхати на місце для перевірки обладнання.

5. Монтаж та налагодження:
Після того як обладнання дістанеться до вашого заводу, ми можемо направити інженерів для встановлення та налагодження обладнання. Ми надамо вам окреме пропозицію для цієї послуги.

6. Про гарантію:
Наше обладнання має гарантійний термін 12 місяців. Після закінчення гарантійного терміну, якщо будь-які деталі пошкодяться і їх потрібно замінити, ми зарахуємо лише вартість матеріалів.

Домашня сторінка

Про Нас

Обладнання MH

Рішення

Заграничні Користувачі

Відео

Зв’язатися з нами

Машина для точного гратування та полірування півпровідникових матеріалів

Огляд обладнання:

Переваги обладнання:

Функції пристрою:

Більше товарів

Обладнання RTP Швидке термічне оброблення для складних напівпровідників SlC LED MEMS

Ручний монтер пластин

Настольна система швидкого термічного оброблення / СИСТЕМА RTP

Повністю автоматична система двокамерного швидкого термічного оброблення RTP обладнання

Запит

Articles

Products

Get In Touch

Машина для точного гратування та полірування півпровідникових матеріалів

Огляд обладнання:

Переваги обладнання:

Функції пристрою:

Більше товарів

Запит

Articles

Products

Get In Touch

Зв’яжіться з нами